[发明专利]基板支撑用的晶舟以及使用该晶舟的支撑单元

权利要求书

1.一种基板支撑用的晶舟，对投入至基板处理装置的腔室而被进行处理的基板提供支撑，其特征在于，包括：

相互面对的一对主杆；

多个连接杆，用于连接所述一对主杆；

多个第一支撑销，设置在所述主杆上，用于搭载和支撑所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板支撑用的晶舟，其特征在于，

在所述连接杆设置有支撑所述基板的多个第二支撑销。

3.根据权利要求2所述的基板支撑用的晶舟，其特征在于，

所述第一支撑销以及所述第二支撑销分别可拆卸地结合于所述主杆以及所述连接杆。

4.根据权利要求3所述的基板支撑用的晶舟，其特征在于，

所述第一支撑销以及所述第二支撑销的一端的截面形成为圆形、椭圆形及方形中的任一形状，

在所述主杆以及所述连接杆分别形成有可插拔所述第一支撑销的一端以及所述第二支撑销的一端的第一结合槽以及第二结合槽，所述第一结合槽以及所述第二结合槽的形状分别与所述第一支撑销以及所述第二支撑销的形状对应。

5.根据权利要求2所述的基板支撑用的晶舟，其特征在于，所述连接杆具备：

水平杆，其设置有所述第二支撑销，并位于所述一对主杆之间；

结合杆，其分别在所述水平杆的两端折弯，并分别结合于所述一对主杆中的任一所述主杆和另一所述主杆，

并且，所述连接杆位于所述主杆的下侧。

6.根据权利要求5所述的基板支撑用的晶舟，其特征在于，

所述结合杆形成为，自所述水平杆多次折弯。

7.根据权利要求2所述的基板支撑用的晶舟，其特征在于，

在所述连接杆中，一部分所述连接杆具有相互不同的间隔，

设置在具有相互不同间隔的所述连接杆上的所述第二支撑销形成为，在中间部位折弯，且可旋转地设置在所述连接杆，

经过设置在所述连接杆上的所述第二支撑销的一端的长度方向中心的虚拟直线，与经过支撑所述基板的所述第二支撑销的另一端的长度方向中心的虚拟直线相互平行。

8.根据权利要求7所述的基板支撑用的晶舟，其特征在于，

所述第二支撑销在中间部位多次折弯。

9.根据权利要求1所述的基板支撑用的晶舟，其特征在于，

在一对所述主杆的一端以及另一端设置有支撑所述基板的角部的第三支撑销。

10.根据权利要求1所述的基板支撑用的晶舟，其特征在于，

所述主杆的一端设置有呈半圆形且插入并支撑于对象物的弧形支撑片，

在位于所述主杆的另一端的所述连接杆上设置有搭载并支撑于对象物的直线形支撑片。

11.根据权利要求1所述的基板支撑用的晶舟，其特征在于，

所述主杆的两端分别设置有供机器臂插入并卡住的卡勾。

12.一种基板支撑用的支撑单元，对投入至基板处理装置的腔室而被进行处理的基板提供支撑，其特征在于，包括：

支架，相互面对的一对所述支架构成一组而分别设置在所述腔室的前侧及后侧，且所述支架包括：与腔室的底板接触的基座；从所述基座的一端向垂直方向延伸的支柱；从所述支柱的一侧向水平方向延伸，且隔着间隔上下排列的多个支撑肋；

横梁，其一端及另一端分别被构成一组的所述支架的所述支撑肋支撑；

晶舟，其一端及另一端分别被位于所述腔室前侧的所述横梁以及位于所述腔室后侧的所述横梁支撑，且具有用于搭载并支撑所述基板的多个第一支撑销。

13.根据权利要求12所述的基板支撑用的支撑单元，其特征在于，

在所述支撑肋形成有供所述横梁插入和安装的安装槽。

14.根据权利要求13所述的基板支撑用的支撑单元，其特征在于，

在所述安装槽形成有与所述安装槽垂直的卡槽，

在所述横梁设置有插入并卡止于所述卡槽的卡环。

15.根据权利要求12所述的基板支撑用的支撑单元，其特征在于，

在所述横梁形成有多个用于防止所述晶舟沿着所述横梁游动的挡块。