[发明专利]紫外线激光装置

权利要求书

1.一种紫外线激光装置，具备输出红外线波长的激光光的激光光输出部、具有波长转换光学元件且将从所述激光光输出部输出的红外线激光光波长转换成紫外线波长的激光光并输出的波长转换部，其特征在于：

该激光光输出部具备输出波长为1900～2000nm的第1红外线激光光的第1激光光输出部、与输出波长为1000～1100nm的第2红外线激光光的第2激光光输出部；

该波长转换部具备从所述第1激光光输出部输出的第1红外线激光光射入并传播的第1系列、与在所述第1系列传播后的激光光及从所述第2激光光输出部输出的第2红外线激光光合波后射入并传播的第2系列；

射入所述波长转换部的所述第1及第2红外线激光光被设在所述波长转换部的波长转换光学元件波长转换，由此从所述第2系列输出紫外线激光光。

2.如权利要求第1项所述的紫外线激光装置，其中，

设在所述波长转换部的波长转换光学元件包括下述元件：

第1波长转换光学元件，产生所述第1红外线激光光的第2谐波；

第2波长转换光学元件，产生从所述第1波长转换光学元件射出的所述第2谐波的第2谐波、即所述第1红外线激光光的第4谐波；

第3波长转换光学元件，产生从所述第2波长转换光学元件射出的所述第4谐波的第2谐波、即所述第1红外线激光光的第8谐波即前段紫外线激光光；以及

第4波长转换光学元件，通过所述前段紫外线激光光与所述第2红外线激光光的和频产生而产生所述紫外线激光光。

3.如权利要求第2项所述的紫外线激光装置，其中，

所述第1波长转换光学元件及所述第2波长转换光学元件被设在所述第1系列；

所述第3波长转换光学元件及所述第4波长转换光学元件被设在所述第2系列。

4.如权利要求第2项所述的紫外线激光装置，其中，

所述第1波长转换光学元件、所述第2波长转换光学元件及所述第3波长转换光学元件被设在所述第1系列；

所述第4波长转换光学元件被设在所述第2系列。

5.如权利要求第2至4项中任一项所述的紫外线激光装置，其中，

在所述第3波长转换光学元件的相位匹配及在所述第4波长转换光学元件的相位匹配为非临界相位匹配。

6.如权利要求第2至5项中任一项所述的紫外线激光装置，其中，

在所述第1波长转换光学元件的相位匹配及在所述第2波长转换光学元件的相位匹配为准相位匹配。

7.如权利要求第1至6项中任一项所述的紫外线激光装置，其中，

所述第1激光光输出部具有掺铥光纤光放大器。

8.如权利要求第1至7项中任一项所述的紫外线激光装置，其中，

所述第2激光光输出部具有掺镱光纤光放大器。

9.如权利要求第1至8项中任一项所述的紫外线激光装置，其中，

所述紫外线激光光为波长190～200nm的深紫外光。