[发明专利]线状锯以及线状锯中的辊对位方法

说明书

技术领域

本发明涉及用线材切断由例如半导体材料或陶瓷等脆性材料构成的工件的线状锯、以及对该线状锯中的辊进行对位的方法。

背景技术

以往，作为这种线状锯，提出有例如专利文献1～专利文献4中公开的构成。在这些现有结构的线状锯上设置有：被缠绕线材的一对卷线筒；和多个主辊，在两个卷线筒之间卷绕架设线材。在一个卷线筒和主辊之间的线材行进路径以及另一个卷线筒和主辊之间的线材行进路径上分别设置有位移辊、松紧调节辊以及多个引导辊，位移辊能够沿着卷线筒的轴线方向位移，松紧调节辊调节线材的张力，多个引导辊用于对线材进行引导。而且，在使线材行进的状态下，将工件按压到主辊之间的线材上，从而进行工件的切断加工。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开平11-348029号公报

专利文献2:日本特开2001-25955号公报

专利文献3:日本特开2005-186222号公报

专利文献4:日本特开2000-61809号公报

但是，在这种线状锯上，在安装多个引导辊时，进行引导辊之间的定心（位置调节），使得由引导辊引导的线材通过设置于各个引导辊上的周槽的中心。但是，由于线材的行进方向在引导辊的位置处改变，所以引导辊的数量越多，在不同方向上行进的线材部分的数量越多，定心作业困难，需要大量时间。另外，由于难以进行正确的定心，会因引导辊之间的偏移而导致在行进的线材上产生扭转。在线材上产生了扭转的情况下，有可能导致工件加工精度下降或线材断线。另外，在线材是担载了金刚石磨粒的类型的情况下，会导致金刚石磨粒从线材脱落。

所述松紧调节辊在通过设置于松紧调节辊上的周槽的面内平行移动，从而调整线材的张力。因此，在线材没有张设成在所述面内延伸的情况下，因松紧调节辊的移动而在线材上产生扭转，其结果，容易产生工件加工精度下降等上述问题。

在专利文献1所述的线状锯上，在线材行进路径上设置有多个引导辊。而且，为了防止线材的偏磨耗，积极地使线材在引导辊之间扭转。因此，容易产生线材断线等上述问题。

在专利文献2所述的线状锯中，在松紧调节辊与位移辊之间和/或松紧调节辊与主辊之间设置有多个引导辊，并且在位移台上也设置有多个引导辊。为了防止线材扭转，需要准确设定引导辊的位置，然而在该专利文献2的线状锯的情况下，由于引导辊的数量多，所以引导辊之间的对位以及引导辊与松紧调节辊之间的对位复杂，难以进行正确的定心。因此，在该专利文献2的线状锯上，不容易防止线材扭转。

在专利文献3以及专利文献4的线状锯中，在松紧调节辊与位移辊之间设置有引导辊，并且在松紧调节辊与主辊之间也设置有多个引导辊。因此，在专利文献3以及专利文献4的线状锯的情况下，也与专利文献2的线状锯的情况相同，辊之间的位置调节复杂，难以正确地进行辊之间的定心，所以不容易消除线材的扭转。

然而，在专利文献3以及专利文献4中，从上方观看时，主辊与卷线筒之间的线材行进路径看似描绘成一条直线状。然而，在实际的装置中，为了确保工件加工精度，主辊不是配置于装置的跟前侧，而是配置于里侧，卷线筒需要进行更换作业，所以被配置在装置的跟前侧、即外侧附近。也就是说，主辊与卷线筒之间的线材行进路径实际上不是一条直线状，而是弯曲的。在线材行进路径弯曲的情况下，引导辊之间的位置调节更加复杂。

发明内容

本发明是着眼于这种现有技术中存在的问题点而进行的。本发明的目的在于，提供一种线状锯及该线状锯中的辊对位方法，通过尽量减少用于对设置于卷线筒与主辊之间的线材行进路径上的线材进行引导的辊的数量，从而能够容易地进行这些辊的位置调节，其结果，能够抑制因线材断线或工件加工精度下降而产生线材扭转。

为了实现上述的目的，在本发明的一个方式中，提供一种线状锯，其具备：多个主辊，具有相互平行的轴线；以及一对卷线筒，将从一个卷线筒送出的线材缠绕架设到所述主辊之间，并缠绕到另一个卷线筒上。在所述一对卷线筒之中的一个卷线筒与所述主辊之间的线材行进路径以及另一个卷线筒与所述主辊之间的线材行进路径上分别配置有：松紧调节辊，调节线材张力；位移辊，能够在松紧调节辊与卷线筒之间沿着卷线筒的轴线进行位移；以及引导辊，用于在松紧调节辊与主辊之间对线材进行引导。各个线材行进路径的位移辊、松紧调节辊以及引导辊具有在位移辊和松紧调节辊和引导辊之间行进的线材的部分位于一个平面上的位置关系。在本发明的线状锯中，在各个线材行进路径的松紧调节辊与主辊之间配置有一个引导辊，在松紧调节辊与卷线筒之间不配置引导辊而只配置位移辊。