[发明专利]微透镜形成用感光性树脂组合物有效
申请号: | 201280007102.5 | 申请日: | 2012-01-12 |
公开(公告)号: | CN103339532A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 坂口崇洋 | 申请(专利权)人: | 日产化学工业株式会社 |
主分类号: | G02B1/04 | 分类号: | G02B1/04;C08F212/02;C08F216/14;C08F222/40;C08F232/08;G02B3/00;G03F7/033 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 段承恩;田欣 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透镜 形成 感光性 树脂 组合 | ||
技术领域
本发明涉及微透镜形成用感光性树脂组合物、以及由该感光性树脂组合物形成的微透镜。
背景技术
一般而言,图像传感器所搭载的微透镜使用感光性树脂组合物来制作。
对于这样的微透镜,一般而言,除了透明性、耐热性、耐溶剂性以外,还要求抑制由高温加热引起的着色,防止透明性的降低(耐热变色性),以及形成为良好的图案形状(图案形成性)等各特性。作为这里所使用的感光性树脂组合物,以往已知含有羟基苯乙烯系共聚物或聚羟基苯乙烯的微透镜形成用感光性树脂组合物。
另外,提出了含有马来酰亚胺系共聚物的光致抗蚀剂组合物、防反射膜形成组合物、液浸光刻用抗蚀剂保护膜形成用材料等(专利文献1~4)。此外,以液晶显示器(LCD)、有机电致发光显示装置等显示装置的绝缘膜的开发为目的,提出了一种显示装置的绝缘膜形成方法,其特征在于,使用含有由茚与马来酰亚胺与N-取代马来酰亚胺形成的碱溶性共聚物、1,2-重氮萘醌化合物、交联剂的放射线敏感性树脂组合物(专利文献5)。
此外,与多官能(甲基)丙烯酸酯的相容性非常优异,此外,碱溶性也良好,因此,以适合用于要求这样的特征的各种用途为目的,提出了一种马来酰亚胺系共聚物,其特征在于,含有来源于未取代马来酰亚胺的单体结构单元、来源于苯乙烯类的单体结构单元、来源于(甲基)丙烯酸的单体结构(专利文献6)。
然而,这些现有文献的目的不是提供作为微透镜形成用感光性树脂组合物的用途,并且,对于具有未取代马来酰亚胺结构单元和乙烯基醚结构单元的共聚物在微透镜形成用感光性树脂组合物的应用,没有暗示具体的手段和效果。
此外,报告了一种放射线敏感性树脂组合物,其特征在于,含有[A](a1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐、(a2)含有环氧基的不饱和化合物、(a3)马来酰亚胺系单体和(a4)其它烯烃系不饱和化合物的聚合物,以及[B]1,2-重氮醌化合物(专利文献7)。但是,虽然说明了该文献中所报告的放射线敏感性树脂组合物可以获得高放射线敏感性,容易形成耐溶剂性、耐热性、透明性和耐热变色性优异的图案状薄膜,但就连由该组合物形成的图案的具体形状精度也没有暗示。此外,作为马来酰亚胺系单体,没有记载未取代马来酰亚胺。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:美国专利第6,586,560(B1)号说明书
专利文献2:日本特公平6-23842号公报
专利文献3:日本特开2008-303315号公报
专利文献4:日本特开2002-323771号公报
专利文献5:日本特开2003-131375号公报
专利文献6:日本特开2004-224894号公报
专利文献7:日本特开2001-354822号公报
发明内容
发明所要解决的课题
使用现有的含有羟基苯乙烯系共聚物或聚羟基苯乙烯的微透镜形成用感光性树脂组合物而制作的现有的微透镜,由于通过高温加热而易于着色,因此有确认了透明性降低的倾向这样的问题,有应当改良的余地。
本发明是基于上述情况而提出的,其所要解决的课题是提供可以显著改善固化膜的透明性、耐热性、耐热变色性、和耐溶剂性、以及感光性树脂膜的图案形成性的微透镜形成用感光性树脂组合物。
用于解决课题的方法
本发明人等为了解决上述课题而进行了深入研究,结果完成了本发明。
即,一种微透镜形成用感光性树脂组合物,其含有(A)成分、(B)成分、(C)成分和溶剂。
(A)成分:共聚物,其具有:下述式(1)所示的马来酰亚胺结构单元;下述式(2)所示的乙烯基醚结构单元;以及下述式(3)、式(4)和式(5)所示的3种结构单元中的至少1种,
(B)成分:感光剂,
(C)成分:交联剂,
(式中,X表示碳原子数1~20的烃基,Y表示碳原子数1~5的烷基、碳原子数5或6的环烷基、苯基或苄基,Z表示苯基、萘基、蒽基、联苯基或碳原子数1~8的烷氧基。其中,上述X所示的基团可以具有醚键或环状结构,上述Y所示的基团中的氢原子的一部分或全部可以被卤原子、羧基、羟基、氨基或硝基取代,上述Z所示的苯基、萘基、蒽基、联苯基中的氢原子的一部分或全部可以被碳原子数1~10的烷基、碳原子数5或6的环烷基、卤原子、羧基、羟基、氨基或硝基取代。)
本发明的其它方式是由上述微透镜形成用感光性树脂组合物获得的固化膜。
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