[发明专利]装置、方法以及反应腔室

权利要求书

1.一种用于处理基板（20）的表面的装置，该基板的表面通过使基板（20）的表面经受至少第一前驱物和第二前驱物的相继表面反应来进行处理，所述装置包括：

-可拆卸的反应腔室（4），基板（20）在处理期间定位于反应腔室内部；以及

-前驱物系统（18），所述前驱物系统用于将至少第一前驱物和第二前驱物供给到反应腔室（4）中，以及用于将至少第一前驱物和第二前驱物从反应腔室（4）排出，其特征在于，反应腔室（4）设置为容器，所述容器布置为以气密方式能密封。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括真空腔室（2），在处理基板（20）期间，反应腔室（4）安装在真空腔室内部。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，反应腔室（4）包括具有用于以气密方式关闭装载门（10、12）的门密封件的装载门（10、12），或者包括以气密方式能关闭的装载门。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的装置，其特征在于，反应腔室（4）包括前驱物连接部（14），所述前驱物连接部用于将至少第一前驱物和第二前驱物供给到反应腔室（4）中以及将至少第一前驱物和第二前驱物从反应腔室（4）排出，并且气体连接部设置有用于以气密方式关闭前驱物连接部（14）的气体密封件（16）。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的装置，其特征在于，该装置的前驱物系统（18）和反应腔室（4）的前驱物连接部（14）包括联结器，所述联结器用于将前驱物系统（18）以流体连接方式与反应腔室（4）连接。

6.一种用于接收一块或多块基板（20）的反应腔室（4），所述基板通过使得基板（20）的至少一部分经受至少第一前驱物和第二前驱物的相继表面反应而进行处理，反应腔室（4）包括：

-反应空间，所述反应空间处于反应腔室（4）内部；

-前驱物连接部（14），所述前驱物连接部用于将至少第一前驱物和第二前驱物供给到反应腔室（4）的反应空间中以及将至少第一前驱物和第二前驱物从反应腔室的反应空间排出，

其特征在于，反应空间是能封闭地密封的反应空间。

7.根据权利要求6所述的反应腔室（4），其特征在于，该装置还包括装载门（10、12），所述装载门用于将一块或多块基板（20）装载到反应腔室（4）中以及用于将一块或多块基板从反应腔室卸载。

8.根据权利要求7所述的反应腔室（4），其特征在于，装载门（10、12）包括一个或多个密封元件，所述一个或多个密封元件用于将装载门封闭地密封在关闭位置中（10、12）。

9.根据权利要求8所述的反应腔室（4），其特征在于，密封元件是密封链、密封环、密封条、金属密封件或类似物。

10.根据权利要求7-9中任一项所述的反应腔室（4），其特征在于，装载门是在关闭位置与打开位置之间能移动的可拆卸盖（10）或舱口（12），或者是能打开和关闭的闸阀。

11.根据权利要求6-10中任一项所述的反应腔室（4），其特征在于，前驱物连接部（14）包括至少一个入口连接部，所述至少一个入口连接部用于将至少第一前驱物和第二前驱物供给到反应腔室（4）中。

12.根据权利要求6-11中任一项所述的反应腔室（4），其特征在于，前驱物连接部（14）包括至少一个出口连接部，所述至少一个出口连接部用于将至少第一前驱物和第二前驱物从反应腔室（4）排出。

13.根据权利要求6-12中任一项所述的反应腔室（4），其特征在于，前驱物连接部（14）设置有气阀（16），所述气阀用于封闭地密封前驱物连接部（14）。

14.根据权利要求6-13中任一项所述的反应腔室（4），其特征在于，反应腔室（4）设置为真空密闭的或超压密闭的，或者真空密闭且超压密闭的。