[发明专利]液体供给系统

权利要求书

1.一种液体供给系统，其特征在于，包括：

收容超低温液体的第一容器；

配置于收容在第一容器中的液体中，吸入该液体，并将吸入的液体送出到与系统外部连通的供给通路的第二容器；

置入于第二容器内部的波纹管；和

通过驱动源进行往复运动，使所述波纹管伸缩的轴，

在第二容器中，所述波纹管外侧是第一泵室，该第一泵室中设置有将第一容器中的液体吸入第一泵室内的第一吸入口、和将吸入的液体从第一泵室送出到所述供给通路的第一送出口；

所述波纹管内是由密闭空间构成的第二泵室，该第二泵室中设置有将第一容器中的液体吸入第二泵室内的第二吸入口、和将吸入的液体从第二泵室送出到所述供给通路的第二送出口。

2.根据权利要求1所述的液体供给系统，其特征在于，

形成有被从所述第一容器外部延伸至所述波纹管的所述轴穿过的密闭空间，该密闭空间内部充满气体。

3.根据权利要求1所述的液体供给系统，其特征在于，

形成有被从所述第一容器外部延伸至所述波纹管的所述轴穿过的密闭空间，该密闭空间内部为真空状态。

4.根据权利要求1所述的液体供给系统，其特征在于，

设置有缓冲经所述供给通路供给的液体的压力变动的缓冲构造，该缓冲构造形成有被从所述第一容器外部延伸至所述波纹管的所述轴穿过的密闭空间，且该密闭空间内形成所述液体的层和气体的层，该密闭空间与从所述供给通路分支的分支通路连接。

5.根据权利要求4所述的液体供给系统，其特征在于，

所述缓冲构造中设置有，当被所述轴穿过的密闭空间内的压力达到规定压力以上时，使内部的压力向外部释放的安全阀。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的液体供给系统，其特征在于，

被所述轴穿过的密闭空间与第二泵室之间，和该密闭空间与外部空间之间，均由小波纹管隔开，所述小波纹管随所述轴往复移动而伸缩，且外径比所述波纹管小。

7.根据权利要求6所述的液体供给系统，其特征在于，

在将所述密闭空间与外部空间之间隔开的所述小波纹管的附近，设置有调节温度的加热器。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的液体供给系统，其特征在于，

在所述波纹管的下方设置有轴部件以及该轴部件的轴承。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的液体供给系统，其特征在于，

第二容器的底侧与所述波纹管由与第一容器内部连通的小波纹管连结，该小波纹管随所述轴往复运动而伸缩，且外径比所述波纹管小。