[发明专利]基板载置用托盘

权利要求书

1.一种基板载置用托盘，其特征在于，包括：

主体，具有具备了载置基板的第一面的平板结构，并且包括碳-碳复合材料或石墨；及

引导部，引导所述基板向着所述主体，从而使所述基板载置于各自规定的位置。

2.根据权利要求1所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述碳-碳复合材料包括：

碳纤维增强复合材料。

3.根据权利要求2所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述主体包括：

通过织造所述碳纤维增强复合材料而制造的两层以上叠层的织物。

4.根据权利要求3所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述主体包括：

正交异方性叠层强化物，以相异方向叠层两个以上的以一方向将所述碳纤维增强复合材料进行织造的织物；或者平织叠层强化物，叠层两个以上的平织织造的织物；或者斜纹叠层强化物，叠层两个以上斜纹织造的织物；或者缎纹叠层强化物，叠层两个以上的缎纹织造的织物。

5.根据权利要求2所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述主体包括：

无纺布叠层强化物，叠层两个以上的以无纺布形状将所述碳纤维强化复合材料进行制造的织物。

6.根据权利要求1所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述引导部包括：袋部，在所述主体以凹雕或凸雕加工，用于使所述基板分别相互分离并收容；或者管脚，沿所述基本的外周边排列；或者贯通袋，露出所述基板的底面；及凸出管脚，从所述贯通袋的内面凸出，来支持所述基板的底面。

7.根据权利要求6所述的基板载置用托盘，其特征在于，

所述管脚及所述凸出管脚，分别包括：陶瓷、石墨、碳-碳复合材料、金属、经过阳极化处理（anodizing）的材料、或陶瓷涂层处理的材料。

8.根据权利要求1所述的基板载置用托盘，其特征在于，还包括：

气孔，贯通所述主体，并在所述基板载置于所述规定的位置时，用于向所述基板的底面提供空气；及空气循环部，具备与所述气孔联通的具有槽形状的空气流路。

9.根据权利要求8所述的基板载置用托盘，其特征在于，

所述空气流路，倾斜地形成分别连接于入口与侧面的部分。

10.根据权利要求1所述的基板载置用托盘，其特征在于，还包括：

陶瓷涂层，形成于所述主体的第一面与侧面及所述引导部。

11.根据权利要求10所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述陶瓷涂层包括：选自由铝氧化物（AlOx）、钇氧化物（YOx）、铝氮化物（AlNx）、硅碳化物（SiCx）构成的群中的一个以上。

12.根据权利要求10所述的基板载置用托盘，其特征在于，

所述陶瓷涂层，具有100μm至400μm的厚度。

13.根据权利要求10所述的基板载置用托盘，其特征在于，

所述陶瓷涂层，是利用大气等离子喷涂（APS）涂层工序来形成。

14.根据权利要求10所述的基板载置用托盘，其特征在于，

所述陶瓷涂层，延长至对向于所述主体的第一面的所述主体的第二面的周边部。

15.根据权利要求10所述的基板载置用托盘，其特征在于，

具备包括陶瓷粘接剂的表面处理层，形成于所述陶瓷涂层的具有管脚孔的部分、所述陶瓷涂层的应力所集中的部分或在不形成有所述陶瓷涂层的所述主体的部分。

16.根据权利要求15所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述陶瓷粘接剂包括：铝氧化物。

17.根据权利要求15所述的基板载置用托盘，其特征在于，

所述表面处理层，在所述具有管脚孔的部分上涂布所述陶瓷粘接剂后，在100℃至200℃的温度中执行60分钟至180分钟的高温固化工序来形成。

18.根据权利要求10所述的基板载置用托盘，其特征在于，

通过连接两个以上的所述主体来形成基板载置用托盘的扩展结构。

19.根据权利要求18所述的基板载置用托盘，其特征在于，

所述基板载置用托盘的扩展结构的所述主体的接触部分上的所述陶瓷涂层的厚度，薄于所述主体的其他部分上的所述陶瓷涂层的厚度。