[发明专利]线状锯

说明书

技术领域

本发明涉及一种线状锯，用线材将由例如半导体材料、磁性材料、陶瓷等脆性材料构成的工件切断。

背景技术

以往，作为这种线状锯，提出有例如专利文献1中公开的结构。在该现有的结构中，线状锯具备：挂设线材的多个加工用辊；供给侧卷线筒，进行旋转而向加工用辊之间供给线材；以及收卷侧卷线筒，进行旋转而将加工用辊之间的线材收卷。在供给侧卷线筒以及收卷侧卷线筒上设置有用于使这些卷线筒沿着旋转轴线的方向进行位移动作的位移机构。在加工用辊与供给侧卷线筒以及收卷侧卷线筒之间分别设置有用于调整线材的张力的浮动辊式张力调整装置、以及用于引导线材行进的多个引导辊。而且，线材在加工用辊之间行进的同时，向该线材上供给含有磨粒的浆液。在该状态下，工件被按压到线材上，工件被切断。

专利文献1：日本特开平4-135158号公报

在该现有结构中，通过位移机构使两个卷线筒沿着其旋转轴线的方向进行位移动作。因此，无需在与各卷线筒对置的位置上设置包括使线材沿着卷线筒的旋转轴线的方向移动的位移辊的位移机构。

但是，在该现有构成中，在加工用辊与两个卷线筒之间分别设置有调整线材张力的张力调整装置和引导线材行进的多个引导辊。因此，存在这样的问题：不仅部件数量多且结构复杂，在加工用辊与两个卷线筒之间，需要用于配置张力调整装置以及多个引导辊的空间，导致整个线状锯变大型化。另外，线材在加工用辊与两个卷线筒之间一边通过多个引导辊来转换行进方向一边行进，所以存在如下问题：在线材上容易产生扭转，产生惯性问题，线材的断线率变高。

发明内容

本发明是着眼于这种现有技术中存在的问题而提出的。其目的在于，提供一种线状锯，无需确保用于配置张力调整装置或多个引导辊的空间，能够将整个线状锯小型化，能够抑制由引导辊导致在线材上产生扭转，并且能够降低由引导辊引起的惯性问题或线材的断线率。

为了实现上述的目的，本发明提供一种线状锯，具备：多个加工用辊，在所述多个加工用辊上挂设用于工件加工的线材；供给侧卷线筒，进行旋转而向所述加工用辊之间供给线材；以及收卷侧卷线筒，进行旋转而将所述加工用辊之间的线材收卷。线状锯的特征在于，具备：一对位移机构，使所述供给侧卷线筒以及所述收卷侧卷线筒分别沿着其旋转轴线的方向进行位移动作；一对传感器，分别检测所述加工用辊与所述供给侧卷线筒以及所述加工用辊与所述收卷侧卷线筒之间的所述线材的张力；以及一对张力调整机构，根据所述传感器的检测结果，分别使所述供给侧卷线筒以及所述收卷侧卷线筒移动，以调整所述线材的张力。

因此，在本发明的线状锯中，能够将使卷线筒沿着其旋转轴线的方向进行位移动作的位移机构和检测线材的张力的张力调整机构一体地附设在各个卷线筒上。由此，与现有结构不同，无需在加工用辊与各个卷线筒之间设置浮动辊式的张力调整装置以及多个引导辊。因此，无需确保用于配置这些部件的空间，能够将两个卷线筒靠近加工用辊进行配置，能够简化线状锯的结构，能够将整个线状锯小型化。另外，能够省略加工用辊与两个卷线筒之间的多个引导辊，所以能够抑制随着线材被引导辊引导而行进导致在线材上产生扭转，并且能够降低由引导辊引起的惯性问题、线材的断线率。

在上述结构中，所述传感器对从所述线材产生的声波进行感应来检测所述线材的张力。

在上述结构中，所述传感器在从所述线材离开的位置上检测所述线材的张力。

在上述结构中，各个位移机构具备：支承板，对所述供给侧卷线筒以及所述收卷侧卷线筒之中的相应的一个卷线筒进行支承；位移用螺母，被固定在该支承板上；位移用滚珠螺杆，以可动作的方式与所述位移用螺母螺合，并且沿着所述卷线筒的旋转轴线的方向延伸；以及位移用电动机，使所述位移用滚珠螺杆旋转，使所述支承板沿着所述位移用滚珠螺杆移动。

在上述结构中，各个张力调整机构具备：支承座，对所述一对位移机构之中的一个位移机构进行支承；调整用螺母，被固定在该支承座上；调整用滚珠螺杆，以可动作的方式与所述调整用螺母螺合，并且沿着所述加工用辊的一个辊延伸；以及调整用电动机，使所述调整用滚珠螺杆旋转，使所述支承座沿着所述调整用滚珠螺杆选择性地向所述加工用辊的一个辊靠近及远离。

附图说明

图1是表示一实施方式的线状锯的主视图。

图2是图1的线状锯的俯视图。

图3是图1的沿3-3线的剖视图。

附图标记说明