[实用新型]高温反偏实时监控系统

权利要求书

1.一种高温反偏实时监控系统，其特征在于，所述监控系统包括主控中心、系统电源、用于提供反偏电源及实时监测半导体器件反偏漏电流的若干监测单元和安装在高温烘箱内用于连接半导体器件的若干老化板，单个监测单元用于监测其中一块老化板中的半导体器件，主控中心和监测单元均由系统电源供电；

所述监测单元包括用于提供反偏电源的数控高压电路和用于实时传递及存储老化板中各半导体器件反偏漏电流的测试监控电路，数控高压电路和测试监控电路均分别与主控中心和老化板相连；数控高压电路接收主控中心发送的反偏电压信息，老化板加载数控高压电路输出的反偏电源，老化板输出每个半导体器件的反偏漏电流到测试监控电路中，测试监控电路实时处理反偏漏电流并输出反偏漏电流数据信息，主控中心接收并存储反偏漏电流数据信息。

2.根据权利要求1所述的高温反偏实时监控系统，其特征在于，所述测试监控电路包括用于处理及传递老化板中各半导体器件反偏漏电流的多个反偏漏电流监测子电路、模数转换子电路和用于存储反偏漏电流数据信息的微处理器，反偏漏电流监测子电路接收并处理老化板输出的反偏漏电流，反偏漏电流监测子电路输出处理后的模拟电压信号到模数转换子电路中进行模数转换，模数转换子电路输出反偏漏电流数据到微处理器中存储。

3.根据权利要求2所述的高温反偏实时监控系统，其特征在于，所述测试监控电路还包括用于处理及传递老化板中半导体器件反偏电压的反偏电压监测子电路，反偏电压监测子电路接收并处理老化板输出的反偏电压，反偏电压监测子电路输出处理后的模拟电压信号到模数转换子电路中进行模数转换，模数转换子电路输出反偏漏电流数据到微处理器中存储。

4.根据权利要求2所述的高温反偏实时监控系统，其特征在于，所述测试监控电路还设有用于监测反偏漏电流是否处于阈值范围内的多个反偏漏电流异常判断子电路、记录有老化板中半导体器件工位数据的CPLD可编程逻辑器件和用于切断异常工位反偏电压的反偏漏电流保护子电路，反偏漏电流异常判断子电路接收微处理器输出的电流阈值，反偏漏电流异常判断子电路接收并与阈值比较老化板实时输出的反偏漏电流，反偏漏电流异常判断子电路输出异常信息到CPLD可编程逻辑器件中处理，CPLD可编程逻辑器件发送异常工位信息到微处理中器存储，同时微处理器输出启动信号给反偏漏电流保护子电路，反偏漏电流保护子电路切断异常工位器件的反偏漏电流回路。

5.根据权利要求2所述的高温反偏实时监控系统，其特征在于，所述测试监控电路还包括用于监测每块老化板温度的温度监测子电路，温度监测子电路包括安装在每一块老化板中间的温度传感器，温度监测子电路输出处理后的温度模拟电压信号到模数转换子电路中进行模数转换，模数转换子电路输出转换后的温度数据到微处理器中存储。

6.根据权利要求2所述的高温反偏实时监控系统，其特征在于，所述主控中心与测试监控电路和数控高压电路之间的连接线均为差分信号传输总线，微处理器与主控中心之间连接有通讯隔离电路。 

7.根据权利要求1所述的高温反偏实时监控系统，其特征在于，所述数控高压电路包括第二微处理器、数模转换子电路、功率放大子电路和电压钳位子电路，第二微处理器接收主控中心发送的反偏电压信息，并传送该信息到数模转换子电路进行数模转换，数模转换子电路输出模拟电压值到功率放大子电路中，老化板加载功率放大子电路输出的反偏电源，电压钳位子电路接收并处理第二微处理器输出的数字电压信息，电压钳位子电路输出处理后的电压值到功率放大子电路。

8.根据权利要求7所述的高温反偏实时监控系统，其特征在于，所述功率放大子电路还顺次连接有电压采样子电路、反馈子电路和选择器，电压钳位子电路通过选择器与功率放大子电路相连，电压采样子电路对功率放大子电路输出的反偏电源进行采样，并将采样数据发送到反馈子电路中，反馈子电路输出反馈电压到选择器中，选择器接收并处理电压钳位子电路输出的电压值，选择器输出电压值或反馈电压到功率放大子电路中。

9.根据权利要求1所述的高温反偏实时监控系统，其特征在于，所述系统电源与主控中心之间连接有用于检测系统电源工作状态的电源监控电路。