[实用新型]一种微流管道内驱动装置

权利要求书

1.一种微流管道内驱动装置，其特征在于，包括，流体腔和通道膜，所述通道膜上设置有微流管道和振动腔，所述流体腔包括回收孔和输出孔，所述振动输入端通过微流管道与输出孔连接，所述微流管道包括进液口和排液口，排液口与回收孔连接，进液口通过微流管道与振动腔输出端连接，振动腔用于提供动力使流体从流体腔的输出孔经振动腔和微流管道运动到回收孔。

2.根据权利要求1所述的微流管道内驱动装置，其特征在于，所述流体腔还包括装载口，所述装液用于将流体装载到流体腔中，所述装载口上设置有密封盖。

3.根据权利要求1所述的微流管道内驱动装置，其特征在于，还包括基板和振动膜，所述流体腔设置在基板上，所述的振动膜覆盖在通道膜上，所述基板覆盖在振动膜上，所述输出孔经过基板与通道膜连接。

4.根据权利要求3所述的微流管道内驱动装置，其特征在于，所述进液口上设置有第一单向阀，流体由流体腔流动到振动腔，所述第一单向阀结构为：包括设置在上基板的第一凸台和所述振动膜上设置的第一溢流槽，所述第一凸台向通道膜方向突出，所述第一凸台上设置有小孔，所述振动膜上的第一溢流槽设置在小孔周边，所述流体从流体腔经过小孔和第一溢流槽进入到微流管道中。

5.根据权利要求3所述的微流管道内驱动装置，其特征在于，所述震动腔输出端处设置有第二单向阀，所述第二单向阀结构为：包括设置在上基板的第二凸台和换流孔、换流通道和所述所述振动膜上设置的第二溢流槽与通孔，所述第二凸台向通道膜方向突出，所述第二凸台上设置有第二小孔，所述振动膜上的第二溢流槽设置在第二小孔周边，所述振动膜上的通孔与换流孔对应，所述换流通道一端与第二小孔连接，另一端与换流孔连接，流体经过换流孔由微流管道进入到换流通道中，经过第二小孔由第二溢流槽进入到微流管道中。

6.据权利要求3所述的微流管道内驱动装置，其特征在于，所述通道膜由多层镂空的薄膜组成，最下层为密封结构，上层与基板和振动膜组成密封结构。

7.根据权利要求6所述的微流管道内驱动装置，其特征在于，所述通道膜最下层为硬质密封板。

8.根据权利要求6所述的微流管道内驱动装置，其特征在于，所述基板上： 所述基板上设置有第二通孔，所述排液口与回收孔通过第二通孔连接。

9.根据权利要求9所述的微流管道内驱动装置，其特征在于，所述基板上的换向通道上端开口，所述开口处设置有密封小膜。