[实用新型]一种适于导片的石英舟有效
| 申请号： | 201220745836.0 | 申请日： | 2012-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN203071053U | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 唐亮;王利国;戴德鵬;刘屹;张伟;冷皓;郭辉;周洋 | 申请（专利权）人： | 晶澳（扬州）太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 225131 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适于 石英 | ||
1.一种适于导片的石英舟，包括支撑框架（1）和安装于支撑框架（1）上的取舟套筒（2），所述支撑框架（1）包括两端面板（13）以及一对相互平行的上槽棒（11）和一对相互平行的下槽棒（12），所述上槽棒（11）和下槽棒（12）均开有用于卡插硅片的卡槽，所述上槽棒（11）的卡槽（111）设置在上槽棒（11）的内侧面，所述下槽棒（12）的卡槽（121）设置在下槽棒（12）的上表面，其特征在于：所述上槽棒（11）的卡槽（111）和下槽棒（12）的卡槽（121）均为倾斜设置的V型槽，以端面板（13）为基准面，所述V型槽的倾斜角度α为2°～5°，槽深为3mm～4mm，槽底宽度为1mm～1.5mm，两槽壁的夹角β为20°～30°。
2.根据权利要求1所述的适于导片的石英舟，其特征在于：所述的一对上槽棒（11）的间距大于所述的一对下槽棒（12）的间距。
3.根据权利要求1所述的适于导片的石英舟，其特征在于：所述下槽棒（12）的两侧设有一对相互平行的支撑棒（14），所述支撑棒（14）的两端固定于两端面板（13）上。
4.根据权利要求3所述的适于导片的石英舟，其特征在于：所述的一对支撑棒（14）的间距大于所述的一对上槽棒（11）的间距。
5.根据权利要求1-4任一项所述的适于导片的石英舟，其特征在于：所述取舟套筒（2）位于端面板（13）的顶部。
6.根据权利要求1-4任一项所述的适于导片的石英舟，其特征在于：所述端面板（13）的底部中心开有用于外部自动导片设备定位的半圆形定位孔（4）。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
