[实用新型]一种绝对光栅尺测试平台

权利要求书

1.一种绝对光栅尺测试平台，其特征在于包括有用于采集光栅条纹的COMS传感器（1）、光学聚焦镜（2）、COMS目镜（3）、平行光源（4）、光栅尺支架（5）、双光栅条光栅尺（6）、光栅尺支架（7）、移动平台（8）、直线滑轨（9）、直线推进装置（10）、步进电机（13）、基座（14），其中步进电机（13）、直线推进装置（10）、直线滑轨（9）组成直线运动系统，COMS传感器（1）、光学聚焦镜（2）、COMS目镜（3）、平行光源（4）和双光栅条光栅尺（6）组成图像处理的采样系统，用于采集光栅条纹的COMS传感器（1）固定在COMS传感器支架（5）的上端，平行光源（4）固定在COMS传感器支架（5）的下端，光学聚焦镜（2）、COMS目镜（3）组成光学放大系统，光学聚焦镜（2）、COMS目镜（3）置于能提供平行光的平行光源（4）的上方，COMS传感器（1）置于能采集到经光学聚焦镜（2）、COMS目镜（3）放大的图像信息的位置上，双光栅条光栅尺（6）装设在光栅尺支架（7）上，且双光栅条光栅尺（6）置于光学聚焦镜（2）与平行光源（4）之间，COMS传感器支架（5）装设在移动平台（8）上，且移动平台（8）置于滑轨（9）上，滑轨（9）及光栅尺支架（7）装设在基座（14）上，直线滑轨（9）与直线推进装置（10）的从动件连接，直线推进装置（10）的主动件与步进电机（13）的输出轴连接。

2.根据权利要求1所述的绝对光栅尺测试平台，其特征在于上述直线滑轨（9）为螺旋传动装置，螺旋传动装置的螺杆与步进电机（13）的输出轴连接，螺旋传动装置的螺母与直线滑轨（9）连接。

3.根据权利要求2所述的绝对光栅尺测试平台，其特征在于上述螺旋传动装置的螺杆由轴承（11）支撑，且螺杆通过联轴器（12）与步进电机（13）的输出轴连接。

4.根据权利要求1至3任一项所述的绝对光栅尺测试平台，其特征在于上述双光栅条光栅尺（6）上包含有两条编码条，包括增量编码条 (15)和绝对位置编码条 (16)；上述增量编码条(15)为间距比绝对位置编码条(16)密度大的等间距等宽度光栅条。