[实用新型]晶棒切割垫条有效
| 申请号： | 201220745375.7 | 申请日： | 2012-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN203004087U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李民强 | 申请（专利权）人： | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 山东清泰律师事务所 37222 | 代理人： | 聂磊 |
| 地址： | 266114 山东省青岛市高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 切割 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶棒切割垫条，其特征在于：它包括垫条衬底，垫条衬底上设置U形槽。
2.根据权利要求1所述的晶棒切割垫条，其特征在于：所述垫条衬底形状为长方体。
3.根据权利要求2所述的晶棒切割垫条，其特征在于：所述垫条衬底底面的平面度为20um。
4.根据权利要求1所述的晶棒切割垫条，其特征在于：所述U形槽的中心面的平面度为20um。
5.根据权利要求1或4所述的晶棒切割垫条，其特征在于：所述U形槽的两侧壁高度为10mm。
6.根据权利要求1或4所述的晶棒切割垫条，其特征在于：垫条衬底及U形槽的材质均采用树脂。
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