[实用新型]一种多晶硅废水处理装置

权利要求书

1.一种多晶硅废水处理装置，其特征在于，包括：陶瓷膜系统；

其中，所述陶瓷膜系统，包括料液箱、供料泵、循环泵、陶瓷膜、透过液箱以及多个连接管道，其中，料液箱的上开口通过连接管道与循环泵相连接，料液箱的下端与供料泵相连接，且供料泵又通过连接管道与所述循环泵与料液箱的上开口之间的连接管道相连接，且循环泵又通过连接管道与陶瓷膜相连接，陶瓷膜又通过连接管道与所述透过液箱的上开口相连接，且在连接管道上还设有压力调节阀门和/或仪器仪表。

2.根据权利要求1所述的多晶硅废水处理装置，其特征在于，所述陶瓷膜的形状为管式多段弯曲中空结构，膜孔小于1μm。

3.根据权利要求1所述的多晶硅废水处理装置，其特征在于，通过管道还连接有液体分离器，包括：

分离腔体和与其相连接的流体储箱、流量供给泵，其中，所述流量供给泵设于分离腔体和所述流体储箱之间。

4.根据权利要求3所述的多晶硅废水处理装置，其特征在于，所述分离腔体的液体进口开于所述分离腔体的下方位置处。

5.根据权利要求4所述的多晶硅废水处理装置，其特征在于，所述液体为纯水或氯化钙或者氯化钠溶液。