[实用新型]薄膜太阳能电池退火装置

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池退火装置，用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化或者硫化，其特征在于，包括：

退火炉，为中空结构，所述退火炉内部为反应空间；

多个加热壁，间隔设置于所述退火炉中，将所述反应空间分割为多个退火腔，所述加热壁上设有加热器；及

固定座，为“U”字形结构，其上开设插槽，所述基片的部分边缘卡设于所述插槽中，并与所述固定座一同收容于所述退火腔中。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池退火装置，其特征在于，退火炉还包括盒体及前盖，所述盒体具有开口端，所述前盖可拆卸地设置于所述盒体的开口端上，所述前盖与所述盒体共同围合成所述反应空间。

3.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池退火装置，其特征在于，所述插槽为两组，两片所述基片并列卡设于所述插槽中，且两片所述基片以具有金属预制层的一侧平面相对。

4.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池退火装置，其特征在于，还包括：

进气管，设置于所述退火炉外侧，并与所述退火腔导通；及

出气管，设置于所述退火炉外侧，并与所述退火腔导通。

5.根据权利要求4所述的薄膜太阳能电池退火装置，其特征在于，所述退火腔顶部腔壁上设有与所述进气管相导通的进气口，所述退火腔底部腔壁上设有与所述出气管相导通的出气口。

6.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池退火装置，其特征在于，所述固定座为石墨固定座。

7.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池退火装置，其特征在于，所述固定座为多个，其数量与所述退火腔的数量相对应，所述薄膜太阳能电池退火装置还包括连接杆，所述多个固定座通过连接杆相连接。

8.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池退火装置，其特征在于，所述加热壁上还设有油层。

9.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池退火装置，其特征在于，所述加热器为铠装加热器或红外加热器。

10.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池退火装置，其特征在于，所述固定座的一端还可设有与所述退火腔相匹配的挡块，所述挡块将所述退火腔密封。

11.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池退火装置，其特征在于，所述固定座为多个，其数量与所述退火腔的数量相对应，所述薄膜太阳能电池退火装置还包括挡板，多个固定座间隔设置于挡板上，挡板将多个所述退火腔密封。