[实用新型]用于刻蚀触摸屏上以石墨烯为导电层的装置有效
| 申请号： | 201220737154.5 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN203076790U | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;狄建科;张伟 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/06;B23K26/14 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王玉国;陈忠辉 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 刻蚀 触摸屏 石墨 导电 装置 | ||
【权利要求书】：
1.用于刻蚀触摸屏上以石墨烯为导电层的装置，其特征在于：包括高频率短脉冲激光器、动态聚焦镜和扫描场镜，所述高频率短脉冲激光器是波长为266nm～1064nm、脉宽在100ps～50ns、频率在10kHz～200kHz的激光器，高频率短脉冲激光器的输出端布置有光闸，光闸的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端布置有45度全反射镜，45度全反射镜的输出端依次布置有动态聚焦镜和扫描场镜，扫描场镜正对于工作平台，工作平台的一侧安装有吹气装置，工作平台的另一侧安装有集尘装置。
2.根据权利要求1所述的用于刻蚀触摸屏上以石墨烯为导电层的装置，其特征在于：所述工作平台为真空吸附式工作平台。
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