[实用新型]F-θ物镜III有效
申请号: | 201220735194.6 | 申请日: | 2012-12-27 |
公开(公告)号: | CN203025411U | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 约格·翁德里希;乌尔里希·克鲁格 | 申请(专利权)人: | 业纳光学系统有限公司 |
主分类号: | G02B13/00 | 分类号: | G02B13/00 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 邓琪 |
地址: | 德国耶拿市高*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 物镜 iii | ||
1.一种F-θ物镜,其特征在于,其包括四个独立的透镜,其中第一独立透镜L1为具有焦距f1的双凹透镜,第二独立透镜L2为具有焦距f2的凹凸透镜,第三独立透镜L3为具有焦距f3的平凸透镜,以及第四独立透镜L4为具有焦距f4的双凸透镜,并且该F-θ物镜的总焦距为f;其中焦距f1至f4与总焦距f的比率满足下列条件:
-1.4<f1/f<-1.0
-4.0<f2/f<-3.3
+1.0<f3/f<1.3
+1.5<f4/f<+1.8。
2.如权利要求1所述的F-θ物镜,其特征在于,f1/f=-1.22,f2/f=-3.62,f3/f=1.13,f4/f=+1.65。
3.如权利要求2所述的F-θ物镜,其特征在于,该F-θ物镜的入射光瞳EP被置于该第一独立透镜L1前方23.3mm的距离d1处。
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