[实用新型]用于PECVD设备的硅片自动上下料装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能硅片加工自动化设备领域，本实用新型尤其是涉及一种用于PECVD设备的硅片自动上下料装置。

背景技术

在现有的硅片减反射膜制备工序中，需将承载盒中的未经PECVD处理过的硅片装入石墨舟中、将石墨舟中的经PECVD处理过的硅片装入承载盒。目前，上述硅片转移动作需要借助人工完成，其缺点在于人工搬运易引起硅片破碎使得生产成本提高，同时，人工操作生产效率低、劳动强度大。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种可以降低生产成本、降低工人劳动强度、自动化程度高的用于PECVD设备的硅片自动上下料装置。

按照本实用新型提供的技术方案，所述用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，在机架上转动安装有机械手，在机械手上安装有吸盘，在机械手外侧的机架上安装有第一硅片盒输送机构、第一升降平台机构、导向机构、第一出片搬运机构、第一储料机构、第一运输机构、第一小车定位机构、第一石墨舟定位机构与第一搬运小车，在机架上内侧位置安装有第二硅片盒输送机构、第二升降平台机构、出片输送机构、第二出片搬运机构、第二储料机构、第二运输机构、第二小车定位机构、第二石墨舟定位机构与第二搬运小车；所述第一运输机构安装于第一出片搬运机构的前方，第二运输机构安装于出片输送机构的前方，机械手安装于第一运输机构与第二运输机构之间的机架上。

所述第一硅片盒输送机构与第二硅片盒输送机构结构相同，它们包括第一电机、托板、同步带、第一同步带轮、第二同步带轮、转动轴、第三同步带轮与第四同步带轮，在第一电机的输出端连接有第四同步带轮，转动轴的两端均固定有第一同步带轮，两第一同步带轮之间的转动轴上固定有第三同步带轮，第四同步带轮通过同步带连接第三同步带轮，同步带绕过第一同步带轮、托板与第二同步带轮。

所述第一升降平台机构与第二升降平台机构结构相同，它们包括安装支座、竖向升降组件和水平输送组件，水平输送组件通过第一连接板固定于竖向升降平台组件上，竖向升降组件通过安装支座固定于机架上；

所述竖向升降组件包括第二电机，第二电机安装在安装支座上，第二电机的输出端通过联轴器与第一丝杠的一端连接，所述第一丝杠的两端通过轴承座转动安装在安装支座上，安装支座上平行安装有第一线轨，在第一线轨内滑动连接有第一滑块，第一丝杠上安装有第一螺母，第一滑块及第一螺母固定在第一连接板上；

所述水平输送组件包括第三电机，第三电机的输出端固定同步带轮，转轴的两端固定两个第五同步带轮，第三电机的输出端的同步带轮通过第二同步带与转轴上的第十同步带轮连接，第二同步带绕过第六同步带轮与第五同步带轮，转轴上方设置有两个挡块，所述第一连接板的上端固定有第一气缸，第一气缸的活塞杆端部安装有压紧头。

所述导向机构包括第一安装板、横向定位组件与纵向导向组件；第一安装板的下侧安装有纵向导向组件，第一安装板的上方安装横向定位组件；

所述横向定位组件包括推板、第二线轨，所述第二线轨固定于第一安装板，推板上固定第二滑块，所述第二滑块嵌装于第二线轨上，第一安装板的前端固定推条；横向调节单元通过连接块固定于第一安装板上，所述横向调节单元包括第二气缸与第五气缸，所述第二气缸与第五气缸相背固定，第五气缸的活塞杆通过连接块固定于第一安装板上，第二气缸的活塞端通过连接杆与推板固定。

所述纵向导向组件包括第一安装板下方的同步带传送单元与第一安装板上方的纵向调节单元；所述同步带传送单元包括两第七同步带轮，两第七同步带轮通过连接轴固定于第一安装板上，所述的两第七同步带轮之间通过第三同步带连接，第一安装板下方设置线轨，第一传动块与第二传动块上分别固定有滑块，所述第一传动块与第四传动块上的滑块分别嵌装于第一安装板下方设置的线轨上，其中第一传动块的一侧固定有第一齿形块，所述第一齿形块上的齿与第三同步带上的齿啮合，且齿形块与第三同步带及第二传动块固定，所述第四传动块上一侧固定有第二齿形块，所述第二齿形块上的齿与第三同步带上的齿啮合，且第二齿形块与第三同步带及第五传动块固定，所述第二传动块通过两连杆与第三传动块固定，连杆的下端与第二连接板固定，第二连接板上固定多个第一导向轮，所述第五传动块通过两连杆与第八连接板连接，第八连接板上固定多个第二导向轮；所述第三传动块与纵向调节组件连接；所述纵向调节单元包括第三气缸、第四气缸，所述第三气缸与第四气缸相背固定，其中第四气缸的活塞杆通过连接块固定于第一安装板上，第三气缸与第三传动块连接。