[实用新型]新型硅片研磨液的搅拌装置有效
| 申请号： | 201220733920.0 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN203002310U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | B01F15/00 | 分类号： | B01F15/00 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 新型 硅片 研磨 搅拌 装置 | ||
【权利要求书】：
1.新型硅片研磨液的搅拌装置，包括搅拌轴、搅拌叶，所述搅拌叶垂直的固定在所述搅拌轴的下端，其特征在于，所述搅拌叶包括连接部分，所述连接部分的边缘均匀设有圆弧凸面，每个所述圆弧凸面上设有相应的搅拌片，所述搅拌片与所述圆弧凸面垂直连接。
2.如权利要求1所述的新型硅片研磨液的搅拌装置，其特征在于，所述搅拌片由若干板片组成，所述板片相互平行的固定成一体。
3.如权利要求2所述的新型硅片研磨液的搅拌装置，其特征在于，所述相邻板片之间的间隙为0.03mm。
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