[实用新型]一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置有效
| 申请号： | 201220727157.0 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN203039998U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 朱锦华 | 申请（专利权）人： | 江苏达胜加速器制造有限公司 |
| 主分类号： | H05H7/14 | 分类号： | H05H7/14 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215214 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电子 辐照 加速器 真空 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括四通（1），其特征在于：所述四通（1）的一端连接有分子泵（2），所述分子泵（2）与前级泵（3）相连接，所述四通（1）的另一端还连接有离子泵（4）。
2.根据权利要求1所述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于：所述分子泵（2）与四通（1）之间设置有插板阀（5）。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于：所述分子泵（2）与前级泵（3）之间还设置有检漏阀门（6）。
4.根据权利要求3所述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于：所述分子泵（2）为FB450型涡轮分子泵。
5.根据权利要求4所述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于：所述离子泵（4）为L400型溅射型离子泵。
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