[实用新型]直线导轨偏摆角和俯仰角的测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学检测技术领域，具体涉及一种直线导轨偏摆角和俯仰角的测量装置

背景技术

直线导轨是大口径高精密光学检测领域中必不可少的器件，直线导轨的精度直接影响到精密光学检测系统的精度，因此测量直线导轨的偏摆角和俯仰角沿导轨方向的分布，可实现对导轨偏摆角和俯仰角导致的系统误差进行标定，这对精密光学检测系统具有重要的意义。

目前常规的导轨偏摆角和俯仰角的测量方法是手动测量导轨上几个采样点的偏摆角和俯仰角，不能测量导轨偏摆角和俯仰角的一维连续分布，所以分辨率和精度都较低，而且操作不方便，不适合长行程导轨偏摆角和俯仰角的测量。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种直线导轨偏摆角和俯仰角的测量装置；本装置可测量直线导轨的俯仰角和偏摆角沿导轨方向上的连续分布，分辨率和精度都较高，在计算机控制下自动完成测量，操作简单方便。

本发明的技术方案：一种直线导轨偏摆角和俯仰角测量装置，其特征在于，包括电子自准直仪、反射镜和直线长导轨。

其中，所述电子自准直仪可在计算机控制下连续实时测量并能保存数据；所述直线导轨可在计算机控制下匀速运动，运动速度大小和方向可调；所述反射镜固定在导轨的载物台上，随载物台一起在计算机控制下沿着导轨方向匀速运动；所述电子自准直仪放置在直线导轨的一段，对准所述反射镜的反射面；所述电子自准直仪的中心高度与反射镜的中心高度一致。

与现有技术相比，本实用新型提供的导轨偏摆角和俯仰角测量装置中，反射镜固定在导轨的载物台上，随载物台一起在计算机控制下沿着导轨方向匀速运动，而电子自准直仪也是在计算机控制下连续测量的，因此可以实时得到导轨上各点的轨偏摆角和俯仰角，分辨率高。角度测量工具用商用的电子自准直仪，因此测量精度高。因为本装置是计算机控制自动化测量的，可容易实现多次重复测量，操作简单方便。

附图说明

图1为本实用新型的直线导轨偏摆角和俯仰角检测装置的实施例的示意图；其中1为电子自准直仪，2为反射镜，3为被测直线导轨；

图2为测量得到的直线导轨偏摆角分布；

图3为测量得到的直线导轨俯仰角分布。

具体实施方式

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。

图1为本实用新型的直线导轨偏摆角和俯仰角检测装置的结构示意图。请参考图1，本实施例中，直线导轨长度为720mm，导轨上面的载物台可在计算机控制下沿导轨方向匀速运动，速度为6mm/s。载物台上放置反射镜，口径为20mm，表面精度优于λ/8，λ＝632.8nm。在直线导轨的一段放置电子自准直仪，电子自准直仪的出光方向对着反射镜的反射面，所采用的电子自准直仪是德国TRIOPTICS公司生产的TA 300-57、测量精度为0.75秒。调整光学支架，使反射镜中心与电子自准直仪的中心处于相同高度。微调电子自准直仪的俯仰和偏摆方向，使反射镜反射的十字线中心在电子自准直仪CCD中心附近，电子自准直仪设置为连续测量，CCD的采集频率为6帧/秒。计算机控制导轨的载物台从离电子自准直仪近的一段开始运动，同时控制电子自准直开始测量，120秒后，载物台达到导轨的另一端，计算机控制导轨停止运动，同时控制电子自准直停止测量。测量得到数据中，x轴方向的数据是导轨偏摆角分布，如图2所示，y轴方向的数据是导轨俯仰角分布，如图3所示。

本实用新型虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本实用新型，任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此本实用新型的保护范围应当以本实用新型权利要求所界定的范围为准。