[实用新型]一种曝光机基台的清洗装置有效

专利信息
申请号: 201220704080.5 申请日: 2012-12-18
公开(公告)号: CN202951681U 公开(公告)日: 2013-05-29
发明(设计)人: 肖磊;卜斌;邓世刚;陈一民 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: B08B7/04 分类号: B08B7/04;B08B1/00;B08B3/08
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 曝光 机基台 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种曝光机基台的清洗装置,其特征在于,包括:

固定架,固定在所述曝光机上;

安装于所述固定架上的清洗耙本体,所述清洗耙本体具有容纳清洗液的容腔以及连通所述容腔的开口;

密封所述开口的塞盖;

位于所述清洗耙本体的清洁面上的海绵,以及一端与所述容腔连通、且将所述容腔内的清洗液引至所述海绵的导液通道;

包裹所述海绵的无尘布。

2.根据权利要求1所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述导液通道为引流管,所述清洗耙本体具有容纳所述引流管的腔室,所述引流管的一端插入所述海绵,另一端与所述容腔相通。

3.根据权利要求2所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述引流管为带有塑料薄管的尼龙线。

4.根据权利要求1所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述清洗耙本体上具有把手,且所述把手的外端安装于所述固定架。

5.根据权利要求4所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述固定架上设有圆形孔,所述把手的横截面为圆形,所述把手的外端插入所述圆形孔内,并通过紧固螺钉安装在所述固定架上。

6.根据权利要求5所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述固定架包括:

导轨;

与所述导轨滑动配合的滑块;

驱动所述滑块往复运动的驱动装置;

所述把手的另一端固定于所述滑块。

7.根据权利要求6所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述驱动装置包括:

与所述导轨相对固定的电机;

与所述电机的输出轴传动连接的螺纹丝杠;

所述螺纹丝杠与所述滑块传动连接。

8.根据权利要求6所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述驱动装置包括:

与所述导轨相对固定的电机;

固定于所述电机输出轴上的齿轮;

与所述滑块固定连接、且与所述导轨平行设置的齿条,所述齿条与所述齿轮啮合。

9.根据权利要求5所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述把手上设有位移传感器。

10.根据权利要求1~9任一项所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述清洗部具有耙型结构。

11.根据权利要求10所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述开口位于所述清洗耙本体中与所述清洁面相对的一端。

12.根据权利要求1所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,还包括固定所述无尘布的固定机构,所述固定机构包括:设置在所述清洗耙本体上的的卡槽以及与所述卡槽配合的圆环。

13.根据权利要求10所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述海绵为晴纶棉。

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