[实用新型]一种曝光机基台的清洗装置有效
申请号: | 201220704080.5 | 申请日: | 2012-12-18 |
公开(公告)号: | CN202951681U | 公开(公告)日: | 2013-05-29 |
发明(设计)人: | 肖磊;卜斌;邓世刚;陈一民 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | B08B7/04 | 分类号: | B08B7/04;B08B1/00;B08B3/08 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 机基台 清洗 装置 | ||
1.一种曝光机基台的清洗装置,其特征在于,包括:
固定架,固定在所述曝光机上;
安装于所述固定架上的清洗耙本体,所述清洗耙本体具有容纳清洗液的容腔以及连通所述容腔的开口;
密封所述开口的塞盖;
位于所述清洗耙本体的清洁面上的海绵,以及一端与所述容腔连通、且将所述容腔内的清洗液引至所述海绵的导液通道;
包裹所述海绵的无尘布。
2.根据权利要求1所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述导液通道为引流管,所述清洗耙本体具有容纳所述引流管的腔室,所述引流管的一端插入所述海绵,另一端与所述容腔相通。
3.根据权利要求2所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述引流管为带有塑料薄管的尼龙线。
4.根据权利要求1所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述清洗耙本体上具有把手,且所述把手的外端安装于所述固定架。
5.根据权利要求4所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述固定架上设有圆形孔,所述把手的横截面为圆形,所述把手的外端插入所述圆形孔内,并通过紧固螺钉安装在所述固定架上。
6.根据权利要求5所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述固定架包括:
导轨;
与所述导轨滑动配合的滑块;
驱动所述滑块往复运动的驱动装置;
所述把手的另一端固定于所述滑块。
7.根据权利要求6所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述驱动装置包括:
与所述导轨相对固定的电机;
与所述电机的输出轴传动连接的螺纹丝杠;
所述螺纹丝杠与所述滑块传动连接。
8.根据权利要求6所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述驱动装置包括:
与所述导轨相对固定的电机;
固定于所述电机输出轴上的齿轮;
与所述滑块固定连接、且与所述导轨平行设置的齿条,所述齿条与所述齿轮啮合。
9.根据权利要求5所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述把手上设有位移传感器。
10.根据权利要求1~9任一项所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述清洗部具有耙型结构。
11.根据权利要求10所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述开口位于所述清洗耙本体中与所述清洁面相对的一端。
12.根据权利要求1所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,还包括固定所述无尘布的固定机构,所述固定机构包括:设置在所述清洗耙本体上的的卡槽以及与所述卡槽配合的圆环。
13.根据权利要求10所述的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述海绵为晴纶棉。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司,未经京东方科技集团股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201220704080.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。