[实用新型]粉尘移除装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种吸尘装置，特别涉及一种粉尘移除装置。

背景技术

随着半导体与微系统技术的进步，电子产品逐渐朝高记忆容量、高功能性、轻量化、薄形化的趋势发展，因此，其零组件要求愈来愈精密化与微形化。由于激光加工可进行微钻孔、微切割、微细加工等精密工艺，因此已逐渐取代部分传统的半导体工艺技术。

在激光加工工艺中，以激光加工机将激光光束射向工作件，并依照所需的路径移动，使得激光光束的高热将接触到的区域材料进行微细的热熔化（Melting）及气化（Vaporization）加工，即可进行切割或蚀刻工件的工作，而不会影响邻近区域材料的机械与热磁性质。

然而，在工作件于进行激光加工过程中，因热熔化及气化而剥离的材料会形成微粒（Particle），飞溅于激光加工机的加工处，为避免微粒影响激光加工作业或取像检测工作，必需利用其他的清洁装置排除这些微粒，否则微粒会附着于工作件及其周边位置处，导致破坏加工精度及其表面粗糙度的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种粉尘移除装置，可以有效清除激光加工机台在加工过程中所产生的粉尘。

为达上述目的，本实用新型提供一种粉尘移除装置，其包含：

一基座，包含一气嘴槽孔及多个吸气通道；

一导引块，位于该气嘴槽孔，该导引块包含：

一内壁面；

一倾斜面，面对于该吸气通道并与该内壁面之间形成一夹角；

一弧形连接部，连接该倾斜面与该内壁面；及

一吹气通道，位于该内壁面之间并与该气嘴槽孔相连通；及

一外罩板，位于该基座上，该外罩板包含一主气孔与多个侧气孔，该主气孔对应于该吹气通道，该些侧气孔布设于该主气孔的侧边。

上述的粉尘移除装置，其中该基座更包含一遮盖板，位于该吹气通道的侧边，该遮盖板包含一倾斜部，对应该倾斜面而使该些吸气通道位于该倾斜部与该倾斜面之间。

上述的粉尘移除装置，其中该遮盖板更包含一结合孔，用以设置一结合元件。

上述的粉尘移除装置，其中该导引块更包含一定位孔，用以设置一定位元件。

上述的粉尘移除装置，其中该外罩板更包含一吸尘有效区，该吸尘有效区的中心对应于该吹气通道。

上述的粉尘移除装置，其中该主气孔与该些侧气孔位于该吸尘有效区。

上述的粉尘移除装置，其中该些侧气孔为阵列分布于该吸尘有效区并等分该吸尘有效区为多个吸尘区块。

上述的粉尘移除装置，其中该外罩板更包含多个连接通道，分别连接于该些吸尘区块。

上述的粉尘移除装置，其中该主气孔的壁面端角处为一弧角。

上述的粉尘移除装置，其中该些侧气孔的壁面端角处为一弧角。

上述的粉尘移除装置，其中该夹角为锐角。

为达上述目的，本实用新型还提供一种粉尘移除装置，其包含：

一基座，包含一气嘴槽孔及多个吸气通道；

一导引块，位于该气嘴槽孔，该导引块包含：

一内壁面；

一倾斜面，面对于该吸气通道并与该内壁面之间形成一夹角；

一弧形连接部，连接该倾斜面与该内壁面；及

一吹气通道，位于该内壁面之间并与该气嘴槽孔相连通；及

一遮盖板，位于该基座上，该遮盖板包含多个气旋通道，该些气旋通道对应于该些吸气通道。

上述的粉尘移除装置，其中该遮盖板更包含一穿孔，该些气旋通道连接于该穿孔。

上述的粉尘移除装置，其中该遮盖板更包含多个限位挡块，该基座更包含多个限位槽，该些限位挡块活移于该些限位槽内。

上述的粉尘移除装置，其中该些限位槽位于该些吸气通道之间。

上述的粉尘移除装置，其中每一该限位挡块包含一固定孔，用以穿设一锁固元件而锁固该限位挡块于该限位槽。

上述的粉尘移除装置，其中更包含多个吸尘配套，套接于该些吸气通道。

本实用新型的实施例中，导引块为锥形并设置于基座中央，引导吸气的气流集中于中央处，使得粉尘可顺势滑落而被抽离，并且，基座二侧的抽风气流不易相互干扰，有效清除激光加工机台在加工过程中所产生的粉尘。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

附图说明

图1为根据本实用新型第一实施例的外观示意图；

图2为根据本实用新型第一实施例的分解示意图；