[实用新型]用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构

权利要求书

1.一种用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构，包括不锈钢桶（8），在不锈钢桶（8）内侧设置外保温层（7），在外保温层（7）内侧设置内保温桶（6），在内保温桶（6）的内腔中设置鸟笼式发热体（1），在鸟笼式发热体（1）的下方设置下隔热屏（5），在鸟笼式发热体（1）的内腔中设置坩埚（10），该坩埚（10）由底部的坩埚支撑结构支撑；在所述坩埚（10）上端设置坩埚盖（2），在坩埚盖（2）上放置上隔热屏（3）；其特征是：所述内保温桶（6）由上部的钼段、中部的钨段和下部的钼段连接而成。

2.如权利要求1所述的用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构，其特征是：所述内保温桶（6）的厚度为1~2mm。

3.如权利要求1所述的用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构，其特征是：所述坩埚支撑结构包括坩埚托盘（4）和钨管（11），坩埚托盘（4）置于钨管（11）之上，坩埚托盘（4）与坩埚（10）的底部接触，在坩埚托盘（4）与坩埚（10）的接触部分设置氧化锆涂层（12）。

4.如权利要求3所述的用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构，其特征是：所述钨管（11）的内径为50mm，外径为80mm。

5.如权利要求1所述的用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构，其特征是：在所述不锈钢桶（8）和外保温层（7）之间填充填料（9）。

6.如权利要求5所述的用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构，其特征是：所述填料（9）为氧化锆。

7.如权利要求1所述的用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构，其特征是：所述外保温桶（7）为多层结构，每层的厚度为0.5mm，每层之间的距离为5mm。

8.如权利要求1所述的用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构，其特征是：所述坩埚盖（2）由多层厚度为1mm的钨片组成。

9.如权利要求1所述的用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构，其特征是：所述上隔热屏（3）由5~8片厚度为1mm的钼片组成，所述下隔热屏（5）由8~10片厚度为1mm的钨片组成。

10.如权利要求1所述的用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构，其特征是：所述上部的钼段和下部的钼段由钼材料制成，中部的钨段由钨材料制成。