[实用新型]一种检测洁净度的装置

权利要求书

1.一种检测洁净度的装置，其特征在于，该装置包括粒子计数器、能够将气体吸入所述粒子计数器的负压吸气组件、能够提供洁净气体的正压供气组件、能够罩在待测物体表面的待测区域上方的罩体、与所述罩体紧密连接的密封圈；其中，

所述负压吸气组件以及正压供气组件的一端分别与所述粒子计数器相连，另一端分别深入到所述罩体与待测区域之间的空间中。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述密封圈的形状与所述罩体朝向待测物体的一端的形状相匹配。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述密封圈的形状为圆形。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述负压吸气组件的吸气口和/或正压供气组件的进气口与所述密封圈处于相同的水平面。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述正压供气组件包括相连的正压输气管、进气管道和进气口；

所述负压吸气组件包括负压吸气管和吸气口。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，

所述负压吸气管穿过所述罩体并进入罩体所形成的空间，所述负压吸气管包括用于将所述罩体所形成的空间中的气体吸入所述粒子计数器的吸气口；

所述进气管道位于所述罩体侧壁的内部，并且所述进气管道面向所述密封圈的一端穿过所述罩体进入所述密封圈所形成的空间；所述进气管道在进入所述密封圈所形成空间的一端上包括能够将待测物体表面的待测区域中的粒子吹离待测物体表面的进气口。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述正压输气管和/或负压吸气管的数量为一个或多个。

8.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述进气管道的数量为一个或多个。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述进气管道的数量为多个，该装置还包括用于将所述正压输气管与进气管道相连的连接管道。

10.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述进气口为能够自动控制开启和关闭的单向阀。