[实用新型]一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备

权利要求书

1.一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备，由真空腔室（2）构成外壁，外壁上安装有真空管路（15），真空管路一端与真空泵组（14）相连，其特征是：外壁上固定安装有通气管路（16），且活动安装有尾料收集箱（13），水冷盘（12）活动安装于真空腔室底部，石墨板（11）置于水冷盘顶端，石墨板上开有孔，石墨支柱（10）一端通过孔与石墨板嵌套连接，另一端与石墨托盘（9）嵌套连接，坩埚置于石墨托盘之上，石墨发热体（6）套于坩埚（7）外围且固定于真空腔室侧壁，碳毡保温桶（4）套于石墨发热体之外且固定于真空腔室侧壁，碳毡保温盖（3）上开有孔，置于碳毡保温桶顶端，感应线圈（5）套于碳毡保温桶之外且固定于真空腔室侧壁之上，石英管（1）活动安装于真空腔室顶端，且其下端穿过碳毡保温盖置于坩埚正上方中心位置，上端通过阀门（17）与真空装置（18）活动密封连接，真空装置上安装有真空计（19）。

2.根据权利要求1所述的一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备，其特征是：所述石墨板（11）上的孔至少为3个。

3.根据权利要求1所述的一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备，其特征是：所述石墨托盘（9）上开有卡槽。

4.根据权利要求1所述的一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备，其特征是：所述石英管（1）与真空腔室（2）之间真空密封活动连接。

5.根据权利要求1或4所述的一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备，其特征是：所述石英管（1）为尖嘴石英管，其下端管口为尖嘴锥形，上端为圆柱形，整体呈上端封闭的漏斗形状。

6.根据权利要求1所述的一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备，其特征是：所述真空装置（18）包括机械泵和罗茨泵。