[实用新型]固态数字化射频电源

说明书

技术领域

本实用新型属于电子仪器设备领域，特别涉及到一种固态数字化射频电源。

背景技术

通常使用的射频电源分为固态射频电源和电子管射频电源，在已有技术中，国内通用的射频电源多数为电子管射频电源，电源所采用的高压约1.5KV，使用中表现出干扰大，效率低，而且体积大，主要部分包括射频振荡部分，电子管放大部分和高压供电部件，通过手动调节高压电源，控制功率大小，不能实现计算机通讯和PLC控制。因而工业应用受到限制。

本发明采用固态器件代替电子管器件制成固态射频电源。这种装置采用高效的直流电源，所有直流电源均采用高效率的开关电源，直流电源效率可达到87％以上。射频电源的控制方式全部为数字化控制方式，精确，方便调节，通过CPU与外部计算机或PLC控制通讯。能够应用于自动化要求高的工业生产和科研中。

发明内容

本实用新型需要解决的技术问题是，针对已有技术中通用的射频电源多数为电子管射频电源，其干扰大、效率低，而且体积大，不能实现计算机通信和PLC控制，为了克服这些不足，就需要重新设计一种固态射频电源，电源中全部采用节能环保设计理念，它的控制方式全部为数字化控制方式，精确且方便调节。

本实用新型的目的是提供一种固态数字化射频电源。

为实现本实用新型目的所采用的技术方案如下，一种固态数字化射频电源，包括一个整体机箱，机箱前部设有一块布有液晶显示屏、功率调节键、匹配器控制键位的前面板，其特征在于，机箱内设有一块电路板，电路板上包含有提供能量用的直流电源部分，它连接着射频功率放大器部分，输出射频功率的控制电路部分，以及人机交互部分。所述人机交互部分，包括前面板上的按键，液晶显示屏，通讯部件和CPU处理器。通过前面板按键可以设定参数，修改参数和切换工作方式，调节功率和开关射频等功能。

本实用新型的有益效果是，本设备高效节能，整机效率可达70％以上，产生同样500W功率时，传统产品要消耗1kW电网功率，本发明产品只消耗720W电网功率。

附图说明

图1为固态数字化射频电源整体机箱外形图；

图2为前面板布局图；

图3为内部电路原理图。

具体实施方式

参照图1，图2，为固态数字化射频电源整体机箱外形图和前面板布局图。图中1为整体机箱外形，2为前面板，其上布有电源开关2.1，中部为液晶显示屏2.2，其旁边为参数设定按键2.3，包括设定上、下、返回键，右侧为功率调节键2.4，下方为功率开关键2.5，右侧边为匹配器控制部分2.6。

参照图3，表示射频电源内部电路原理图，电路板为3，板上布有提供能量用的直流电源部分3.1，它连接着射频功率放大器部分3.2，输出射频功率控制部分3.3，人机交互部分3.4。

本设备的功能是将交流市电220V，变为射频固定频率13.56MHz的电源，输出射频信号驱动产生等离子体或介质加热，应用于半导体、太阳能、新材料等领域的镀膜、刻蚀、清洗、化学气相沉积等设备。本射频电源采用射频功率放大器，包括射频振荡，射频驱动，射频功率放大和射频滤波组成。采用高效率直流开关电源代替传统的通过变压器变压，整流滤波得到直流方式；采用横流机风扇节省空间，使体积比其他射频电源要更小，风道设计新颖.使噪声更低。