[实用新型]探针卡自动维修设备

权利要求书

1.一种探针卡自动维修设备，其特征在于，包括真空吸嘴、顶针及探针，所述顶针、探针都位于真空吸嘴内部，顶针可沿所述真空吸嘴侧壁移动，从而调节探针位置。

2.如权利要求1所述探针卡自动维修设备，其特征在于，所述真空吸嘴为喇叭型。

3.如权利要求2所述探针卡自动维修设备，其特征在于，所述顶针针身表面为波浪状。

4.如权利要求3所述探针卡自动维修设备，其特征在于，还包括一机械手臂，所述真空吸嘴连接于机械手臂上，所述机械手臂可控制所述真空吸嘴的动作及顶针的移动。

5.如权利要求4所述探针卡自动维修设备，其特征在于，还包括一真空吸管，所述真空吸管和所述真空吸嘴相连。

6.如权利要求5所述探针卡自动维修设备，其特征在于，还包括一微控制单元，所述微控制单元与所述机械手臂电气连接，所述微控制单元检测探针卡上探针的坐标位置，当位置有偏差时，发送该探针坐标信号给所述机械手臂，所述机械手臂控制真空吸嘴移动至对应的探针位置。

7.如权利要求6所述探针卡自动维修设备，其特征在于，所述真空吸嘴内部还设有一真空监测仪，所述真空监测仪将检测数据反馈给机械手臂。

8.如权利要求7所述探针卡自动维修设备，其特征在于，所述真空监测仪检测数据反馈给机械手臂的真空值达到预设值，所述机械手臂启动调针动作，将所述顶针下压，与探针卡之探针接触，并至充满所述真空吸嘴。