[实用新型]一种双观察孔单晶炉炉盖结构

说明书

技术领域

本实用新型属于机械设备技术领域，涉及一种双观察孔单晶炉炉盖结构。

背景技术

单晶炉是生长硅单晶的专用设备，在硅单晶生长过程中需要随时掌握硅单晶棒的直径状况，因此，在单晶炉炉盖上设置有观察孔，对于生长大直径硅单晶棒的单晶炉，就需要在炉盖上开出长度尺寸大于硅单晶棒直径的观察孔，目前单晶炉炉盖上普遍采用的是田径跑道型大尺寸的椭圆形观察孔。

现有技术中的单晶炉炉盖上，由于采用大尺寸的田径跑道式椭圆形观察孔结构，严重的影响了炉盖的刚性和强度，不但制造复杂、变形严重、密封效果差，同时也会对单晶炉内部的热场有较大影响，从而降低了单晶炉的稳定可靠性。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种双观察孔单晶炉炉盖结构，解决了现有技术中的大尺寸田径跑道式观察孔的结构不合理，导致制造复杂、变形严重、密封效果差、单晶炉的稳定可靠性差的问题。

本实用新型所采用的技术方案是，一种双观察孔单晶炉炉盖结构，在炉盖上设置有两个圆形观察孔。

本实用新型的双观察孔单晶炉炉盖结构，其特征还在于：

所述的两个圆形观察孔之间的最小距离小于单晶棒的最小直径；两个圆形观察孔之间的最小距离加上两个圆形观察孔的直径之和大于单晶棒的最大直径。

本实用新型的有益效果是，在炉盖上设置有两个圆形观察孔，由两个圆形观察孔代替原来的大尺寸田径跑道式的椭圆形观察孔；结构简单，加工制造容易、安装方便、可靠性高的特点，提高了单晶炉的稳定可靠性。

附图说明

图1为现有技术的椭圆形观察孔的位置结构示意图；

图2为本实用新型装置的圆形观察孔的位置结构示意图；

图3为本实用新型装置的圆形观察孔的位置关系俯视示意图。

图4为本实用新型装置的测量关系原理示意图。

图中，1.炉盖，2.圆形观察孔，3.单晶棒，4.椭圆形观察孔。

具体实施方式

参见图1，是现有技术的椭圆形观察孔4的位置结构示意图，在炉盖1上设置有一个较大尺寸的椭圆形观察孔4。

参见图2、图3，本实用新型的双观察孔单晶炉炉盖结构是，在炉盖1上设置有两个圆形观察孔2，两个圆形观察孔2之间的最小距离b小于单晶棒3的最小直径；两个圆形观察孔2之间的最小距离b加上两个圆形观察孔2的直径2a之和大于单晶棒3的最大直径c。

参见图4，实际应用中，生长出硅的单晶棒3的直径d直接通过两个圆形观察孔2进行直接测量。即两个圆形观察孔2之间的最小距离b必须保证能够测量到单晶棒3的最小直径；两个圆形观察孔2之间的最小距离b与两个圆形观察孔2的直径a之和必须保证能够测量到单晶棒3的最大直径c，单晶棒3的直径d的测量范围表达式为：b≤d≤c=b+2a。

本实用新型的创新之处在于，在炉盖1上设置有两个圆形观察孔2，由两个圆形观察孔2代替原来的大尺寸田径跑道式的椭圆形观察孔4。

本实用新型具有结构简单，加工制造容易、安装方便、可靠性高的特点，提高了单晶炉的稳定可靠性。广泛适用于硅单晶炉、锗单晶炉等各种人工晶体生长设备中的观察、晶体直径测量和信号采集。