[实用新型]一种对长带衬底加热的保温装置有效
| 申请号： | 201220672159.4 | 申请日： | 2012-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN203007399U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 杨坚 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 朱丽华 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 衬底 加热 保温 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种对长带衬底加热的保温装置，具有一由若干方向围壁构成的本体，其特征在于：该本体至少带有前、后和底侧的围壁，且上侧为全开放口；在底侧的围壁上开设沉积孔；在前侧的围壁上分别开设一组测温探头用孔。
2.根据权利要求1所述的对长带衬底加热的保温装置，其特征在于：所述的本体还带有左、右侧的围壁，该左、右侧的围壁上开设供沉积镀膜作业的长带通过的通道槽口。
3.根据权利要求1或2所述的对长带衬底加热的保温装置，其特征在于：在后侧的围壁上开设一个激光入射孔。
4.根据权利要求1所述的对长带衬底加热的保温装置，其特征在于：在前侧的围壁上还开设一个羽辉观察孔。
5.根据权利要求1所述的对长带衬底加热的保温装置，其特征在于：在前、后侧围壁的上边缘带有一组具有螺钉孔的凸臂。
6.根据权利要求1所述的对长带衬底加热的保温装置，其特征在于：所述的测温探头采用热电偶。
7.根据权利要求1所述的对长带衬底加热的保温装置，其特征在于：所述的沉积孔为圆形。
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