[实用新型]一种基于电容读出的微机电电流传感装置有效
| 申请号： | 201220668760.6 | 申请日： | 2012-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN202939208U | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 张渤;贾澎涛 | 申请（专利权）人： | 西安科技大学 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人： | 彭冬英 |
| 地址： | 710054 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电容 读出 微机 电流 传感 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于电容读出的微机电电流传感装置，包括上、下层基底（1）、固定电极（2）、可动电极（3）、磁感应材料（4）和质量块与梁（5），其特征在于：上、下层基底（1）内腔设有固定电极（2），上、下层基底（1）之间设有质量块与梁（5），所述的质量块与梁（5）由中心质量块与四角的X型微形梁构成，质量块与梁（5）上设有磁感应材料（4）和可动电极（3），上、下基底（1）键合连接。
2.如权利要求1所述的基于电容读出的微机电电流传感装置，其特征在于：固定电极（2）上设有阻挡器（6）。
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