[实用新型]电子设备以及电容式湿度传感器

权利要求书

1.一种电子设备，其特征在于，包括： 

第一电极； 

在所述第一电极上方的第二电极；以及 

湿度敏感电介质层，其介电常数基于环境湿度而变化，且所述湿度敏感电介质层基于所述第一电极定位，且定位在所述第一电极和所述第二电极之间；以及 

通过所述第二电极延伸的至少一个孔径；以及 

所述湿度敏感电介质层中的凹陷，其形成所述第一电极和所述第二电极之间、在第二电极的一部分下方延伸的中空区域，所述湿度敏感电介质层在凹陷处具有的第一厚度，以及在与所述凹陷隔开的位置具有第二厚度，所述第二厚度大于所述第一厚度。 

2.根据权利要求1所述的电子设备，其特征在于，包括位于所述第一电极中的开口，其正好位于第二电极的相应孔径下方。 

3.根据权利要求1所述的电子设备，其特征在于，所述第一电极配置成加热所述湿度敏感电介质层。 

4.根据权利要求3所述的电子设备，其特征在于，所述第一电极是钽铝电阻器。 

5.根据权利要求1所述的电子设备，其特征在于，所述湿度敏感电介质层是聚酰亚胺层。 

6.根据权利要求1所述的电子设备，其特征在于，包括位于所述第二电极中的多个孔径，所述多个孔径配置成将大面积上的所述湿度敏感电介质层暴露于环绕所述电子设备的周围气体环境。 

7.根据权利要求1所述的电子设备，其特征在于，包括位于所述第二电极上方的钝化层，所述钝化层被构图成露出所述第二电极中的开口。 

8.根据权利要求1所述的电子设备，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极输出指示所述电子设备所处的环境的湿度的模拟信号。 

9.根据权利要求8所述的电子设备，其特征在于，所述第一电极、所述湿度敏感电介质层和所述第二电极构成电容式湿度传感器。 

10.根据权利要求9所述的电子设备，其特征在于，包括与所述电容式湿度传感器相邻的参考电容器，该参考电容器配置成输出参考电容信号。 

11.一种电容式湿度传感器，其特征在于，包括： 

电介质衬底， 

位于所述电介质衬底上的第一电容器电极； 

位于所述第一电容器电极上的湿度敏感电介质层； 

位于所述湿度敏感电介质层上的第二电容器电极；以及 

位于所述第二电容器电极上的钝化层，所述钝化层和所述第二电容器电极其中具有开口以暴露出所述湿度敏感电介质层，所述湿度敏感电介质层其中具有形成所述第一电容器电极和所述第二电容器电极之间的中空区域的凹陷。 

12.根据权利要求11所述的电容式湿度传感器，其特征在于，包括与所述湿度敏感电介质层相邻的加热器，所述加热器被配置成加热所述湿度敏感电介质层，以从所述湿度敏感电介质层释放湿气。 

13.根据权利要求11所述的电容式湿度传感器，其特征在于，包括参考电容器，所述参考电容器包括： 

位于所述电介质衬底上且位于所述湿度敏感电介质层下方的第三电容器电极；以及 

位于所述湿度敏感电介质材料上的第四电容器电极，所述钝化层位于所述第四电容器电极上且防止所述湿度敏感电介质材料暴露于空气。 

14.根据权利要求13所述的电容式湿度传感器，其特征在于，包括： 

模拟至数字转换器，配置成从所述第一电容器电极和所述第二电容器电极接收模拟湿度信号，且将所述模拟湿度信号转换成数字湿度信号；以及 

微控制器，配置成从所述模拟至数字转换器接收所述数字湿度信号且基于所述数字湿度信号估算环绕所述电容式湿度传感器的环境中的湿度的值。