[实用新型]一种用于抛光工序的修整器有效
| 申请号： | 201220663399.8 | 申请日： | 2012-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN203125326U | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 索思卓;库黎明;闫志瑞 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12;B24B53/017 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 抛光 工序 修整 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于抛光工序的修整器，其特征在于：它包括：游轮环，其侧面周边开有多个平行齿口，游轮环的正面开有承载修整轮圆孔，正面还开有多个提高修整过程中液体均匀性的通孔，修整轮圆孔内嵌入修整轮。
2.根据权利要求1所述的一种用于抛光工序的修整器，其特征在于：所述的游轮环材料为塑料、碳纤维或表面喷有涂特氟隆的金属制品；其厚度为0.5～5cm。
3.根据权利要求2所述的一种用于抛光工序的修整器，其特征在于：所述的塑料为PVC或聚四氯乙烯塑料。
4.根据权利要求1所述的一种用于抛光工序的修整器，其特征在于：修整轮为环形，环形材料为喷有特氟隆金属、塑料或碳纤维，上述环形修整轮材料的一面或者双面贴有金刚石的砂轮片。
5.根据权利要求4所述的一种用于抛光工序的修整器，其特征在于：所述的塑料为聚四氯乙烯。
6.根据权利要求4或5所述的一种用于抛光工序的修整器，其特征在于：所述的修整轮嵌入游轮环，修整轮的厚度要厚于游轮环1mm～10mm。
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