[实用新型]用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置

权利要求书

1.一种用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置，其特征在于，包括真空相连的用于装载待镀柔性线材的装载室、用于对柔性线材进行镀膜的磁控溅射镀膜室以及用于对完成镀膜的柔性线材进行收卷的收卷室，所述装载室内设置用于对柔性线材放卷的第一转轴，所述收卷室内设置用于对柔性线材收卷的第二转轴，所述第二转轴的输出端连接有使其均匀转动的动力装置，所述柔性线材的一端设置在第一转轴上，另一端依次穿过所述装载室、磁控溅射镀膜室固定在所述收卷室内的第二转轴上，以柔性线材为中心在所述磁控溅射镀膜室上环形均布至少三个溅射靶。

2.根据权利要求1所述的用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置，其特征在于，所述装载室与所述磁控溅射镀膜室之间设置第一过渡腔，所述装载室靠近所述第一过渡腔的一侧设置装载室导线孔，所述收卷室与所述磁控溅射镀膜室之间设置第二过渡腔，所述收卷室靠近所述第二过渡腔的一侧设置收卷室导线孔。

3.根据权利要求2所述的用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置，其特征在于，所述装载室导线孔的中心、多个溅射靶发射的中心以及收卷室导线孔的中心均与所述柔性线材的轴心线重合。

4.根据权利要求2所述的用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置，其特征在于，所述第二过渡腔与所述收卷室之间依次设置加热室和第三过渡腔。

5.根据权利要求3所述的用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置，其特征在于，所述溅射靶为三个，环形分布在所述磁控溅射镀膜室上，且此三个溅射靶与柔性线材之间的距离一致。

6.根据权利要求3所述的用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置，其特征在于，所述溅射靶为四个，环形分布在所述磁控溅射镀膜室上，且此四个溅射靶与柔性线材之间的距离一致。

7.根据权利要求4所述的用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置，其特征在于，所述装载室、第一过渡腔、磁控溅射镀膜室、第二过渡腔、加热室、第三过渡腔以及收卷室为圆形腔室或者方形腔室或者异形腔室。

8.根据权利要求7所述的用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置，其特征在于，还包括真空泵机组，所述真空泵机组与所述装载室、第一过渡腔、磁控溅射镀膜室、第二过渡腔、加热室、第三过渡腔或者收卷室相连，以通过真空泵机组对各腔室抽真空。

9.根据权利要求1～8任一所述的用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置，其特征在于，所述磁控溅射镀膜室上设置用于填充镀膜用气体的布气系统。

10.根据权利要求1～8任一所述的用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置，其特征在于，所述第二转轴上设置用于固定柔性导线的锁扣。