[实用新型]用于提升PECVD镀膜均匀性的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池的生产技术领域，具体涉及一种用于提升PECVD镀膜均匀性的装置。 

背景技术

太阳能电池作为一种可以将太阳辐射能直接转化为电能的器件，已经得到人们的认可和关注，并在世界范围内迅速推广和应用。

在晶体硅太阳能电池的生产过程中，需要在电池表面制作能够减少光在硅片表面反射率的减反射膜，可以显著提高晶体硅太阳能电池的转化效率。目前的晶体硅太阳能电池生产中制作减反射膜的设备一般采用管式PECVD镀膜设备，在制作减反射膜的过程中，工艺气体均采用沉积腔一端进气，另一端抽气的输送方式。这样，当工艺气体由进气端运动到抽气端时，成分发生变化，浓度也随之下降，影响沉积效果。主要表现为：一、薄膜的厚度均匀性差；二、薄膜的折射率会随气流的方向呈递减趋势。这样在一定程度上增加了电池不良品的产生几率，同时增大了太阳电池的短路电流、开路电压和电池效率的分布区间。目前，其改善方案是提供足够多的反应气体以保证薄膜的性能，这样势必造成了气体的浪费。 

发明内容

本实用新型的目的就是针对上述存在的缺陷而提供一种用于提升PECVD镀膜均匀性的装置。本实用新型的进气方式由原来的沉积腔横向进气改为纵向进气，出气方式改为沉积腔体上设置一出气口的出气方式，这样既提升了薄膜的性能，还有效的提高了PECVD薄膜制备过程中对工艺气体的利用率。

本实用新型的一种用于提升PECVD镀膜均匀性的装置技术方案为，包括沉积腔、射频电极和进气系统，还包括设置于沉积腔下方的真空系统，沉积腔为管式真空腔体，进气系统采用纵向进气的方式，包括位于沉积腔一侧的进气装置。

进气装置连接位于沉积腔内部上方的喷气管。

喷气管设置有一个以上。

本实用新型的有益效果为：本实用新型的一种用于提升PECVD设备的进气方式由原来的沉积腔横向进气改为纵向进气，出气方式改为沉积腔体上设置一出气口的出气方式，这样对设备进行改进，保证了沉积腔内气场的均匀性、稳定性，不仅提升了薄膜厚度的均匀性，还有效的改善了薄膜折射率的一致性，使太阳电池的短路电流、开路电压和电池效率的分布区间相对集中，同时减少了不良片的产生几率；另外，本沉积方法有效的提高了PECVD薄膜制备过程中对工艺气体的利用率

附图说明：

图1所示为本实用新型的结构示意图；

图2所示为现有技术的结构示意图。

图中，1.沉积腔，2.进气系统，3. 真空系统，4.射频电极，5.石墨舟，6.电源系统。

具体实施方式：

为了更好地理解本实用新型，下面结合附图来详细说明本实用新型的技术方案，但是本实用新型并不局限于此。

实施例1

本实用新型的一种用于提升PECVD镀膜均匀性的装置，包括沉积腔1、射频电极4和进气系统2，还包括设置于沉积腔1下方的真空系统3，沉积腔1为管式真空腔体，进气系统2采用纵向进气的方式，包括位于沉积腔1一侧的进气装置。沉积腔1内设有石墨舟5，射频电极4连接电源系统6。

实施例2

本实用新型的一种用于提升PECVD镀膜均匀性的装置，包括沉积腔1、射频电极4和进气系统2，还包括设置于沉积腔1下方的真空系统3，沉积腔1为管式真空腔体，进气系统2采用纵向进气的方式，包括位于沉积腔1一侧的进气装置，进气装置连接位于沉积腔1内部上方的喷气管。沉积腔1内设有石墨舟5，射频电极4连接电源系统6。