[实用新型]一种具有自动化物料处理系统的洁净室

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种具有自动化物料处理系统的洁净室，可用于平面显示器制造领域中。

背景技术

自动化物料处理系统（AMHS，Automatic Material Handling System），又称天车系统。这种搬送系统在洁净室内的应用比较多，例如应用于平面显示器制造领域，由于平面显示器的制造依赖于不同的处理设备的多重工艺步骤，这需要利用自动化物料处理系统（AMHS）在处理设备之间传送产品。

现有的自动化物料处理系统（AMHS）参见附图1~2所示，主要包括自动化物料处理系统和多个程序加工区1（Process Bays）；其中，程序加工区内设有各种加工设备15；自动化物料处理系统包括加工区间自动输送轨道回路2和多个储存仓3（Stocker），所述储存仓之间的传递是藉由加工区间自动输送轨道回路内的悬挂式搬运系统16所完成。现有的加工区间自动输送轨道回路一般近似矩形或圆角矩形，参见附图1所示，悬挂式搬运系统运转于加工区间自动输送轨道回路中；所述各个储存仓分别位于程序加工区的一侧，每个储存仓包含一些垂直堆叠的储存箱，用以承载平面卡匣。图2为图1的A-A剖视图，由图可见，现有的加工区间自动输送轨道回路从上到下包括三层空间：架构空间4（TRUSS）、洁净空间5（FAB）和循环空间6（SUBFAB）；架构空间和洁净空间之间设有天花板7，天花板上设有风机滤器单元9（FFU，Fan Filter Units），现有的天花板上设有通气孔，以使FFU提供的过滤后的空气进入洁净空间；洁净空间和循环空间之间设有高架地板17，高架地板上设有透气孔，以便气体通过循环。

现有的具有自动化物料处理系统的洁净室一般包括新风输送系统、排气系统和一大型的洁净空间，洁净空间内设有自动化物料处理系统；洁净空间的两侧设有回风通道。目前，新风输送系统一般设于洁净室的侧面，即回风通道的侧面，再通过总管和支管的形式分布于洁净室的顶部，由于具有自动化物料处理系统的洁净室一般体积极大，需要送入新风的位置点较多，因此现有的新风输送系统的管路非常复杂，不仅配管困难，不易施工，而且成本较高。

此外，具有自动化物料处理系统的洁净室一般具有至少一个入口，以便搬机动线进行搬运。然而，由于洁净空间的两侧设有回风通道，因此入口处的大门设置就比较复杂，不仅要满足洁净空间的要求，而且要考虑回风通道的影响。

发明内容

本实用新型的发明目的是提供一种具有自动化物料处理系统的洁净室。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种具有自动化物料处理系统的洁净室，包括新风输送系统、排气系统和一大型洁净空间，大型洁净空间内设有自动化物料处理系统和至少1个程序加工区；

所述自动化物料处理系统包括加工区间自动输送轨道回路和至少1个储存仓；所述自动化物料处理系统从上到下包括架构空间、洁净空间和循环空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，洁净空间和循环空间之间设有高架地板；

所述自动化物料处理系统的四周围设有隔板，使其所在的洁净空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构；位于洁净空间内的隔板底部设有气体调节风门；

所述隔板向下延伸至底部，隔板包围的高架地板为封闭结构，使洁净微环境结构的下方形成封闭空间；

所述加工区间自动输送轨道回路的外围设有第二隔板，第二隔板设于所述隔板的外侧，隔板和第二隔板之间的高架地板镂空，使隔板和第二隔板之间的洁净空间和循环空间构成回风通道；

在所述加工区间自动输送轨道回路中，其轨道的正上方的天花板上设有风机滤器单元，轨道的内侧面上设有竖直设置的挡板，挡板围设于整个加工区间自动输送轨道回路上，构成第二回风通道，所述第二回风通道正对的天花板上设有通孔；所述通孔的正上方设有新风输送系统的输送管，并使所述独立的洁净微环境结构中的气压大于其外侧的回风通道中的气压；

所述回风通道内设有新风输送系统的输送支管，该输送支管与所述输送管连通。

上文中，所述自动化物料处理系统包括加工区间自动输送轨道回路和至少1个储存仓，而储存仓与加工区设备之间还可以分别设有传递系统，该传递系统可以包含Robot、Cassette station、Load/Unload等。

所述加工区间自动输送轨道回路一般近似矩形或圆角矩形，悬挂式搬运系统运转于加工区间自动输送轨道回路中，所述悬挂式搬运系统可以是OHS。