[实用新型]铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及铸锭多晶热场散热装置的技术领域，具体而言，涉及一种铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉。

背景技术

如图1所示，现有技术中的散热底板10′是实心长方形板，用于支撑盛放有液体硅的石英坩埚20′并用于该石英坩埚20′的散热。

加热石英坩埚20′的方式主要有两种，一种是通过四周辐射加热，另一种是通过底部加热。上述两种加热方式均使石英坩埚20′受热不均匀，散热底板的各处导热率相同，各处的散热速度是基本相同的，因此经散热底板10′散热后，石英坩埚20′的底部温度分布仍然不均匀，这样导致石英坩埚20′的底部的水平温度梯度小的区域形成的硅晶粒大，水平温度梯度大的区域形成的硅晶粒小。晶粒均匀度差异较大会直接导致晶体品质较差，进而导致光伏电池的转换率低。

实用新型内容

本实用新型旨在还提供一种散热时使石英坩埚底部温度分布更均匀的铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉。

为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种铸锭多晶炉的散热底板，包括：底板本体，底板本体上设有第一孔区和第二孔区，第一孔区环绕设置在第二孔区的外侧，第一孔区内设有多个第一通孔，第二孔区内设有多个第二通孔，多个第一通孔的过流面积之和不同于多个第二通孔的过流面积之和。

进一步地，相邻两个第一通孔的孔心之间的距离等于相邻两个第二通孔的孔心之间的距离，第一通孔的孔径小于第二通孔的孔径。

进一步地，第一通孔和第二通孔的孔径均相等，相邻两个第一通孔的孔心之间的距离大于相邻两个第二通孔的孔心之间的距离。

进一步地，在第一通孔内和/或第二通孔内填充有导热率小于底板本体的导热率的导热材料。

进一步地，多个第一通孔的过流面积与多个第二通孔的过流面积之和小于底板本体的横截面面积的70%。

进一步地，底板本体为矩形板或圆盘形板。

进一步地，第一通孔和第二通孔的过流面均呈圆形或多边形。

进一步地，底板本体为石墨板。

进一步地，底板本体的厚度在25mm至35mm的范围之内。

根据本实用新型的另一方面，提供了一种铸锭多晶炉，包括：坩埚和支撑设置在坩埚底部的散热底板，散热底板为上述的散热底板。

应用本实用新型的技术方案，由于导热率与过流面积有关，也就是说，过流面积越大，导热率越低。这样，底板本体的第一孔区位置的导热率不同于底板本体的第二孔区位置的导热率。将底板本体的导热率高的位置对应于石英坩埚的温度高的区域，将底板本体的导热率低的位置对应于石英坩埚的温度低的区域。这样，使得石英坩埚的温度高的区域的散热速度快于石英坩埚的温度低的区域的散热速度，从而使底板本体与石英坩埚接触的表面在散热时的温度分布逐渐趋于一致。这样，石英坩埚底部的温度趋于一致，使得形成的晶粒更均匀，进而保证了晶粒的品质。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了现有技术中铸锭多晶炉的结构示意图；

图2示出了根据本实用新型的铸锭多晶炉的散热底板的实施例一的主视示意图；

图3示出了图2中铸锭多晶炉的散热底板的侧视结构示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图2所示，实施例一的铸锭多晶炉的散热底板包括底板本体10，该底板本体10上设有第一孔区11和第二孔区12，第一孔区11环绕设置在第二孔区12的外侧，第一孔区11内设有多个第一通孔111，第二孔区12内设有多个第二通孔121，多个第一通孔111的过流面积之和小于多个第二通孔121的过流面积之和。

实施例一的散热底板的适用于石英坩埚采四周辐射加热方式的铸锭多晶炉，底板本体10与石英坩埚相接触的表面的四周温度高于中心温度，那么，多个第一通孔111的过流面积之和小于多个第二通孔121的过流面积之和，底板本体10上第一孔区11的导热率小于第二孔区12的导热率，导热率越低，散热速度越慢。石英坩埚的四周区域的散热速度快于石英坩埚的中心区域的散热速度，这样，可以使底板本体10与石英坩埚接触的表面在散热时的温度分布趋于一致，进而使石英坩埚底部的温度趋于一致，因此使形成的晶粒更均匀，进而保证了晶粒的品质。