[实用新型]基板传送装置有效
| 申请号： | 201220647558.5 | 申请日： | 2012-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN203021022U | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 许朝钦;金基用;周子卿;贠向南;王涛;郑铁元 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;H05F3/06 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传送 装置 | ||
1.一种基板传送装置，包括传动轴及固定套设在所述传动轴上的滚轮总成，其特征在于，还包括向待传送基板的朝向所述传动轴及所述滚轮总成的一面的表面喷射离子气体的离子气体喷射单元。
2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，还包括所述传动轴上与所述离子气体喷射单元相连通的第一中空腔体；以及还包括设于所述传动轴表面与所述第一中空腔体连通的第一通孔；
和/或设于所述滚轮总成表面并与所述第一中空腔体连通的第二通孔。
3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述滚轮总成包括与所述离子气体喷射单元相连通的第二中空腔体，所述第二中空腔体与所述第二通孔、第一中空腔体连通。
4.根据权利要求2或3任一项所述的基板传送装置，其特征在于，所述传动轴的端部具有与所述第一中空腔体和所述离子气体喷射单元相连通的通路。
5.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一通孔为多个，且沿所述传动轴的轴向均匀分布。
6.根据权利要求2或3所述的基板传送装置，其特征在于，所述第二通孔为多个，且沿所述滚轮总成的周向均匀分布。
7.根据权利要求2或5所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一通孔为圆形或多边形孔结构。
8.根据权利要求6所述的基板传送装置，其特征在于，所述第二通孔为圆形或多边形孔结构。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201220647558.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
