[实用新型]激光光束分析仪校准系统

权利要求书

1.一种激光光束分析仪校准系统，其特征在于，包括激光器、平行光场产生装置、衰减器、具有标准孔径的光阑以及被校激光光束分析仪；

所述平行光场产生装置用于将所述激光器发出的激光束整形成平行光束场；

所述衰减器紧贴在所述光阑位于入射光一侧的端面上，用于调节入射到所述光阑上的平行光束的强度，以及减少背景辐射对测量结果的影响；

所述具有标准孔径的光阑紧贴在所述被校激光光束分析仪探测器的传感面上，用于将入射的平行光束整形成标准束宽的平顶光束；

所述被校激光光束分析仪用于测量所述标准束宽的平顶光束。

2.根据权利要求1所述的激光光束分析仪校准系统，其特征在于，所述平行光场产生装置包括依次设置在所述校准系统光路上的与所述激光器波长匹配的光纤准直器、单模光纤和光学会聚模块；

所述光纤准直器用于将激光束耦合至所述单模光纤；

所述单模光纤用于形成点光源；

所述光学会聚模块用于将点光源转化为平行光束场。

3.根据权利要求1所述的激光光束分析仪校准系统，其特征在于，所述光阑采用铟钢材料。

4.根据权利要求1所述的激光光束分析仪校准系统，其特征在于，所述激光器为氦氖激光器。