[实用新型]真空处理装置的气体混合装置有效
| 申请号： | 201220642548.2 | 申请日： | 2012-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN202917430U | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 周宁;徐朝阳 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/02;B01F3/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 处理 装置 气体 混合 | ||
1.一种用于真空处理装置的气体混合装置，其横向设置于所述真空处理装置的气体混合管道中，其特征在于，所述气体混合装置包括：
一叶轮，呈圆盘形；
若干个径向设置在叶轮的圆周部分的叶片，所述叶片的第一端的一部分连接于所述叶轮的圆周，所述叶片的第二端与所述气体混合管道贴合。
2.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述叶片的第一端未连接于叶轮的圆周的部分与所述叶轮不在一个平面上。
3.根据权利要求2所述的气体混合装置，其特征在于，所述若干个叶片之间有重叠。
4.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述气体混合装置是一体成型的。
5.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述气体混合装置还包括一驱动装置，所述驱动装置驱动所述叶片以叶轮的中心为轴进行转动。
6.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述叶片的长度的取值范围为1mm~5mm。
7.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述叶轮的直径的取值范围为1mm~5mm。
8.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述叶片的材料为不锈钢，所述叶轮的材料为不锈钢。
9.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述第一端连接于所述叶轮的圆周的长度的取值范围为0.3mm~4mm。
10.一种真空处理装置，其特征在于，所述真空处理装置包括权利要求1至9任一项所述的气体混合装置。
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