[实用新型]一种用于单晶炉的四通式抽气管道

说明书

技术领域

本实用新型提供一种用于单晶炉的四通式抽气管道，尤其是一种能快速清扫、安全释压的用于单晶炉的四通式抽气管道。

背景技术

单晶炉在正常工作时炉体内的环境相对于外界环境呈现为负压、高温状态。炉体通过抽空管道、除尘器与真空泵相连来保证炉内的负压力。在整个单晶炉运行过程中炉内硅材料因高温融化、低压产生的挥发物会沿气流方向附着在抽空管道内壁，长时间积累会影响抽气速率与炉体真空度，抽空管道需要定期清扫保持洁净与通畅。如果因意外情况导致冷却水泄漏到炉体内，在高温下冷却水会瞬间汽化转为气体，导致炉体内的气压急剧增大到超过炉体外大气压，轻则可能导致晶体生长设备的损坏或其他危害晶体生长设备稳定的情况，重则可能引起爆炸，危及人身安全。目前，单晶炉抽空管道形状复杂，将管道拆下才能清扫所有死角，安全方面需要重新增加防爆装置。因此，如何使管道内部便于清扫，又能增加整体设备安全性成为亟待解决的问题。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种能方便的清扫抽气管道的每一个死角，本身具有安全释压的用于单晶炉的四通式抽气管道。

本实用新型所采取的技术方案是：

一种用于单晶炉的四通式抽气管道，包括管道主体，抽气管道的出气口与一个十字型的四通接头的一个接口进行连接，四通接头的与抽气管道的出气口呈90°分布的其中一个接口为出气接口，四通接头的其余两个接口均为清扫口，两个清扫口上分别设置有密封扣合装置。

其中，所述的密封扣合装置包括清扫口法兰、盖板、合页和密封圈，清扫口法兰配装在清扫口上，清扫口法兰的端口部覆盖有盖板，合页的一个页板固定在清扫口法兰上，合页的另一个页板固定在盖板的外缘上；密封圈设置在盖板与清扫口法兰的口部之间。

其中，盖板与水平面之间为30°至75°夹角，清扫口法兰的端口部的角度与盖板的角度相配。

其中，抽气管道为两个，分别设置在炉体的相对两侧。

其中，抽气管道为双层密封结构，夹层内有循环冷却水。

其中，盖板与水平面之间为60°夹角。

本实用新型的有益效果是：

1、可以在不用拆卸单晶炉抽气管道的情况下，打开盖板，两个方位清扫管道内部，在炉压高于设定值时自行释放炉内压力增加单晶炉安全性。

2、盖板与清扫口法兰全部靠盖板自身重量与清扫口法兰紧密接触，上方无约束机构，在压力达到设定范围可自行弹起。

附图说明

图1为本实用新型的结构安装示意图；

图2为图1的俯视图；

图3为本实用新型的密封扣合装置的剖视图；

图4为本实用新型的密封扣合装置的A向剖视图；

图中1.炉体，2.抽气管道，3.盖板，4.合页轴，5.合页，6.清扫口法兰，7.炉体内腔，8.密封圈，9.四通接头。

具体实施方式

下面结合图1至图4对本实用新型做进一步详细说明：

由图1、图2可知，一种用于单晶炉的四通式抽气管道，抽气管道2的进气口与炉体1的炉体内腔7相连通，抽气管道2的出气口与一个十字型的四通接头9的一个接口进行连接，四通接头9的与抽气管道2的出气口呈90°分布的其中一个接口为出气接口，四通接头9的其余两个接口均为清扫口，两个清扫口上分别设置有密封扣合装置。抽气管道2为两个，分别设置在炉体1的相对两侧。抽气管道为双层密封结构，夹层内有循环冷却水。

所述的密封扣合装置包括清扫口法兰6、盖板3、合页5和密封圈8，清扫口法兰6配装在清扫口上，清扫口法兰6的端口部覆盖有盖板3，合页8的一个页板固定在清扫口法兰6上，合页5的另一个页板固定在盖板3的外缘上，合页8的两个页板通过合页轴4进行联接；密封圈8设置在盖板3与清扫口法兰6的口部之间，板与水平面之间为30°至75°夹角，清扫口法兰的端口部的角度与盖板的角度相配。实施例中，盖板与水平面之间为60°夹角。

工作时，在抽气管道2与炉体内腔7相通，抽气管道2内气压与炉体内腔7内气压相等，抽气管道2的外界为一个大气压，炉体内腔7内的工作气压小于大气压，在正常工作的情况下盖板3因大气压力和自重倾斜分力而自动封闭炉体内部与外界大气的联系。

当有意外情况炉体内时，致使炉体内腔压力急剧升高，炉体内的压力逐渐高于外部大气压以及盖板3的压力时，盖板3会受到一个冲力而向外侧运动，炉体内的气体与外部的大气接触，炉体内的气体外溢导致炉体内的压力减小，压力减小过程中，盖板3靠自重分力向回运动，当压力减小到一定值时，盖板3再次将炉体内的气体与大气隔离。