[实用新型]坩埚喷涂系统

说明书

技术领域

本实用新型大体涉及坩埚喷涂系统，具体地涉及实现均匀喷涂的坩埚制备系统。 

背景技术

现有的坩埚，尤其是石英坩埚，较常采用的喷涂工艺是：先将一定粒度的喷涂用粉料和去离子水(DI水)以一定量配比，搅拌均匀，输送到喷头后借助增压压力，在洁净腔室内用喷头喷涂在时刻保持预热温度的的石英坩埚内壁，喷涂时使坩埚保持旋转，利用离心力作用，坩埚能喷涂得更加均匀；经过烘箱在一定程序下烧结，石英坩埚内壁最终形成了一层喷涂粉料的喷涂层。 

该喷涂工艺主要存在以下不足： 

1、需要将粉料先均匀溶解在溶剂中，但通常该类粉料在溶液中分散的时候会与溶液中的气体和空气发生反应，形成沉淀，导致溶液难以分散均匀； 

2、由于喷涂和烘干过程中有极高洁净度的需求，粉料溶解于溶剂的方式就需要对喷涂过程中的溶剂进行雾化处理，加大了喷涂时的复杂程度，且易被污染。 

3.该种方式的喷涂温度、所用的溶剂和溶质、喷涂方法，决定了该类喷涂在基底上很难形成均匀或致密的涂层。 

4.该涂层的吸附方式基本为物理吸附，与基底的附着力很低，容易被外力损伤和剥离。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种坩埚喷涂系统，以解决目前的喷涂工艺存在的效率较低、喷涂处理较复杂的技术问题。 

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案： 

一种坩埚喷涂系统，包括：压缩气体发生装置；带有喷嘴的喷涂机构；接收并预混喷涂粉料与所述压缩气体的混合腔；连接所述喷涂平台和所述混合腔的传输通道；以及分别连接并控制所述压缩气体发生装置和喷涂机构的控制器。 

所述混合腔包括文丘里管。 

所述传输通道由不锈钢软管构成。 

所述喷涂机构包括在竖直方向延伸的升降杆。 

所述喷涂机构包括藕接在所述升降杆上且在水平方向延伸的以所述藕接点作为旋转支点的旋转臂。 

所述旋转臂是中空的，该旋转臂的一端连接所述传输通道，另一端连接所述喷嘴。 

所述喷嘴置于坩埚的腔体内部或腔体上方或腔体外侧，该喷嘴的形状与坩埚的侧壁形状相匹配。 

该系统还包括测温仪，所述控制器连接并控制该测温仪。 

采用本实用新型的坩埚喷涂系统，先将压缩气体与喷涂粉料在混合腔内预混合后，再借助压缩气体通过传输通道进入喷涂机构，实现了直接向坩埚内表面喷涂粉料的目的。由此制备的坩埚的内表面涂层均匀程度很高，整个喷涂工艺的效率也大为提高。 

附图说明

在下文中将参照以下附图仅通过例子更具体地描述本实用新型的优选实施例： 

图1是根据本实用新型的一个实施例的坩埚喷涂系统的结构示 意图； 

图2是图1的压缩气体发生装置的结构示意图； 

图3是图1的坩埚喷涂系统的控制原理框图。 

在上述的各附图中，相似的附图标记应被理解为表示相同、相似或者相应的特征或功能。 

具体实施方式

本实用新型的发明人一改以往常用喷涂系统必须将喷涂粉料溶解在溶剂中搅拌均匀形成喷涂液，传输至喷嘴后才施加压缩空气进行喷涂的传统方式，独创性地设计了一套坩埚喷涂系统，先将压缩气体与喷涂粉料在混合腔内预混合后，再借助压缩气体通过传输通道进入喷涂机构向坩埚内表面进行喷涂。 

需要注意的是，在以下优选的实施例的具体描述中，将参考构成本实用新型一部分的所附的附图。所附的附图通过示例的方式示出了能够实现本实用新型的特定的实施例。示例的实施例并不旨在穷尽根据本实用新型的所有实施例。可以理解，在不偏离本实用新型的范围的前提下，可以利用其他实施例，也可以进行结构性或者逻辑性的修改。因此，以下的具体描述并非限制性的，且本实用新型的范围由所附的权利要求所限定。 

在以下的具体描述中，参考了所附的附图。附图构成了本实用新型的一部分，在附图中通过示例的方式示出了能够实施本实用新型的特定的实施例。就这一点而言，方向性的术语，例如“左”、“右”“顶部”、“底部”、“前”、“后”等，参考附图中描述的方向使用。因此本实用新型的实施例的部件可被置于多种不同的方向，方向性的术语是用于示例的目的而非限制性的。可以理解，在不偏离本实用新型的范围的前提下，可以利用其他实施例，也可以进行结构性或者逻辑性修改。因此，以下的具体描述并非限制性的，且本实用新型 的范围由所附的权利要求所限定。