[实用新型]一种多晶硅还原炉、热氢化炉尾气急冷装置有效

专利信息
申请号: 201220640059.3 申请日: 2012-11-06
公开(公告)号: CN202988746U 公开(公告)日: 2013-06-12
发明(设计)人: 何克周;胡俊辉;薛涛;张玉泉;李波;王相君 申请(专利权)人: 陕西天宏硅材料有限责任公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107;B01D53/00;B01D50/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 712000 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 多晶 还原 氢化 尾气 装置
【权利要求书】:

1.一种多晶硅还原炉、热氢化炉尾气急冷装置,它包括:反应炉(1)、尾气急冷管段(2)、一级尾气换热器(3)、尾气过滤器(4)、二级尾气换热器(5)、凝液储罐(6)、凝液泵(7)和阀门(V)、流量调节阀(V1)构成,其特征在于:在反应炉(1)设有反应炉进气(A1)进气管路和尾气急冷管段(2),尾气急冷管段(2)通过阀门(V)连接于一级尾气换热器(3),一级尾气换热器(3)通过阀门连接于尾气过滤器(4),尾气过滤器(4)通过阀门连接于二级尾气换热器(5),在二级尾气换热器(5)上设有未冷凝尾气出气(A4)出气管路,部分被冷凝后的尾气进入冷凝液(A3)管路,二级尾气换热器(5)通过冷凝液(A3)管路阀门连接于凝液储罐(6),凝液储罐(6)通过管道及阀门连接于凝液泵(7),凝液泵(7)通过阀门连接于流量调节阀(V1),流量调节阀(V1)连接入尾气急冷管段(2)。

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