[实用新型]一种多晶硅还原炉、热氢化炉尾气急冷装置有效
| 申请号: | 201220640059.3 | 申请日: | 2012-11-06 |
| 公开(公告)号: | CN202988746U | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
| 发明(设计)人: | 何克周;胡俊辉;薛涛;张玉泉;李波;王相君 | 申请(专利权)人: | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
| 主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107;B01D53/00;B01D50/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 712000 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 多晶 还原 氢化 尾气 装置 | ||
1.一种多晶硅还原炉、热氢化炉尾气急冷装置,它包括:反应炉(1)、尾气急冷管段(2)、一级尾气换热器(3)、尾气过滤器(4)、二级尾气换热器(5)、凝液储罐(6)、凝液泵(7)和阀门(V)、流量调节阀(V1)构成,其特征在于:在反应炉(1)设有反应炉进气(A1)进气管路和尾气急冷管段(2),尾气急冷管段(2)通过阀门(V)连接于一级尾气换热器(3),一级尾气换热器(3)通过阀门连接于尾气过滤器(4),尾气过滤器(4)通过阀门连接于二级尾气换热器(5),在二级尾气换热器(5)上设有未冷凝尾气出气(A4)出气管路,部分被冷凝后的尾气进入冷凝液(A3)管路,二级尾气换热器(5)通过冷凝液(A3)管路阀门连接于凝液储罐(6),凝液储罐(6)通过管道及阀门连接于凝液泵(7),凝液泵(7)通过阀门连接于流量调节阀(V1),流量调节阀(V1)连接入尾气急冷管段(2)。
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