[实用新型]金属层线宽测量装置有效
| 申请号： | 201220637335.0 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN202903138U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 刘杰;曲泓铭;安峰;张光明;李伟;宋泳珍;郑云友;吴成龙 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 层线宽 测量 装置 | ||
1.一种金属层线宽测量装置，其特征在于，包括：
光发射装置，包括发射检测光信号的发光单元；
光接收装置，与所述光发射装置相对设置，接收所述光发射装置发出的光信号并生成光强信号；所述光发射装置和光接收装置分别位于被测基板两侧；
信号处理装置，与所述光接收装置连接，对所述光接收装置接收的光强信号进行处理，得到测量结果。
2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述光发射装置进一步包括接收被被测基板反射的光信号并生成光强信号的受光单元。
3.如权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述信号处理装置还与所述受光单元连接，分别对所述光接收装置和受光单元生成的光强信号进行处理，得到测量结果。
4.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，进一步包括与所述光发射装置和光接收装置固定、沿被测基板的金属层线宽方向相对于所述被测基板移动的扫描移动装置。
5.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，进一步包括供所述被测基板固定、沿被测基板的金属层线宽方向相对于所述光发射装置和光接收装置移动的扫描移动装置。
6.如权利要求4或5所述的测量装置，其特征在于，进一步包括向所述扫描移动装置发送移动控制信号的移动控制装置。
7.如权利要求6所述的测量装置，其特征在于，所述移动控制装置还与所述信号处理装置连接，向所述信号处理装置发送移动参数信号，所述信号处理装置根据所述移动参数信号对所述光强信号进行处理，得到所述测量结果。
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