[实用新型]一种薄膜抗激光损伤能力测量与评价装置

权利要求书

1.一种薄膜抗激光损伤能力测量与评价装置，其特征在于包括上位机(1)、脉宽监测单元(2)、脉冲激光器(3)、光束整形单元(4)、聚焦单元(5)、分光镜(6)、能量标定单元(7)、图像采集单元(8)和电控样品台(9)；其中上位机(1)分别与脉宽监测单元(2)、脉冲激光器(3)、聚焦单元(5)、能量标定单元(7)、图像采集单元(8)和电控样品台(9)相连接，在上位机(1)的控制下，脉宽监测单元(2)监测脉冲激光器(3)发出激光脉冲宽度，该激光脉冲依次经过光束整形单元(4)和聚焦单元(5)后入射到分光镜(6)上，部分激光束被分光镜(6)反射后辐照到被测样品表面，另一部分激光束透过分光镜(6)被能量标定单元(7)接收，被测样品被安装在电控样品台(9)上，被测样品表面经过分光镜(6)后成像在图像采集单元(8)的探测面；

所述的上位机(1)为工控计算机，其向脉冲激光器(3)发送开关指令，同时触发脉宽监测单元(2)、图像采集单元(7)和能量标定单元(8)进行数据采集，对采集的数据进行分析处理，数字输出激光脉冲宽度、激光脉冲能量、样品表面损伤面积、辐照能量密度和样品表面激光损伤阈值，通过控制电控样品台(9)在垂直于光束的截面内做二维运动来满足不同脉冲能量辐照被测样品不同位置的记录要求；

所述的脉宽监测单元(2)由光电探测器和处理电路组成，置于脉冲激光器(3)高反射镜外侧并与激光束同光路；

所述的脉冲激光器(3)为电光调Q脉冲激光器，发射波长为1064nm、532nm或355nm，最大重复频率为10Hz，脉冲宽度为10ns；

所述的聚焦单元(5)由平凸透镜(10)、光学调整架(11)、电控位移台(12)和控制器(13)组成；

所述的能量标定单元(7)由热释电探测器和处理电路组成；

所述的图像采集单元(8)由成像光学系统(14)、图像传感器(15)和图像采集卡(16)组成；

所述的电控样品台(9)为电控的XY二维运动台。

2. 如权利要求1所述的一种薄膜抗激光损伤能力测量与评价装置，其特征在于，所述的辐照被测样品光束为空间能量分布均匀的光束。

3.如权利要求1所述的一种薄膜抗激光损伤能力测量与评价装置，其特征在于，所述的光束整形单元(4)为微透镜阵列匀束器。

4.如权利要求1所述的一种薄膜抗激光损伤能力测量与评价装置，其特征在于，所述的辐照被测样品表面的能量密度通过控制聚焦单元(5)和被测样品间相对距离来改变。

5.如权利要求1所述的一种薄膜抗激光损伤能力测量与评价装置，其特征在于，所述的分光镜(6)为立方棱镜，其倾斜表面镀制对45度入射激光波长的分光膜，对45度入射可见光的增透膜，左侧和右侧表面镀制入射激光波长的增透膜，上侧和下侧表面镀制可见光的增透膜和激光波长的高反射膜，与入射激光光路呈45度角放置。