[实用新型]气体流量场装置

权利要求书

1.气体流量场装置，包括新气体源、阀门、调节阀、气体分配器（6）、止回阀（10）、真空泵（11），其特征在于，所述新气体源上安装可控制的阀门，用于控制气体输送或停止输送状态的转换，新气体源从阀门出来后进入调节阀，通过调节阀控制输入气体的流速及总量，气体通过调节阀后进入气体分配器（6），气体分配器（6）固定安装在密闭容器（13）的顶部，用于分配进入密闭容器（13）中不同位置的气体量；密闭容器（13）的出气口通过气体导管与止回阀（10）相连，止回阀（10）的另一端与真空泵（11）相连，装置中的相连均是通过气体导管，使装置的各部分连接起来。

2.根据权利要求1所述的气体流量场装置，其特征在于：还在密闭容器（13）内安装了轴流风机（12）。

3.根据权利要求1所述的气体流量场装置，其特征在于：所述的阀门选用电磁阀（3）。

4.根据权利要求1所述的气体流量场装置，其特征在于所述的调节阀选用电动调节阀（4）。

5.根据权利要求1所述的气体流量场装置，其特征在于：所述的新气体源与气体分配器（6）之间安装了截止阀（5）。

6.根据权利要求1所述的气体流量场装置，其特征在于：所述的新气体源进入密闭容器（13）的通路中加装了消声器（7）。

7.根据权利要求1所述的气体流量场装置，其特征在于：在止回阀（10）与密闭容器（13）出气口之间安装了缓冲罐（8）。

8.根据权利要求1所述的气体流量场装置，其特征在于：在止回阀（10）与密闭容器（13）出气口之间安装了可曲挠接头（9）。

9.根据权利要求1所述的气体流量场装置，其特征在于：所述的新气体源选用新风过滤器（1），经过滤的空气在阀门的许可下，进入可调节阀。

10.根据权利要求1所述的气体流量场装置，其特征在于：在新气体源与阀门之间安装了孔板流量计（2）。