[实用新型]圆形平台的断面形状测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及断面形状测量装置，用于测量例如像半导体元件用的硅片那样要求高精度平面性的圆板材研磨用的圆形平台的断面形状。

背景技术

如图6所示，通常在测量用于研磨硅片等的圆形平台（又称研磨平台）51的断面形状时，想要知道的信息是，在经过其转动中心O的直径方向的测量线52上的断面形状。

可是，由于在圆形平台51的转动中心部存在转动驱动齿轮或转动轴支承用凸台部等突出部，所以不能在经过转动中心O的直径方向的测量线52上测量断面形状。

因此，在不经过圆形平台51的转动中心O的测量线53上测量断面形状。

但是，如果在不经过圆形平台转动中心的线上测量断面形状，则如图7所示，当圆形平台的表面为圆锥面时，其断面形状如图8所示呈向上方鼓起的凸状曲线，与图9所示的在经过转动中心的线上的直线断面形状不同。另外，即使将凸状的曲线模拟成直线，也不能适用于要求精密度的测量。

实用新型内容

因此，本实用新型的目的在于提供一种圆形平台的断面形状测量装置，即使在不经过圆形平台中心的测量线上进行测量，也能够准确测量经过中心的直径方向的线上的断面形状。

为解决上述课题，本实用新型的第一方面提供一种圆形平台的断面形状测量装置，其包括：导向架，能设置在作为被测量物的圆形平台上，并且具有规定方向的导向构件；移动件，被所述导向构件引导，并且利用移动装置而移动自如；距离传感器，设置在所述移动件上，测量至圆形平台的被测量面的距离；以及运算显示装置，将不经过所述圆形平台中心的虚拟直线上的多个测量点处的由所述距离传感器测量到的各测量值，与作为从圆形平台中心到各测量点的最短距离的第一最短距离对应显示。

此外，本实用新型的第二方面在第一方面的基础上，所述运算显示装置包括距离运算部和图像显示部，所述距离运算部根据作为从圆形平台中心到虚拟直线的最短距离的第二最短距离、以及从表示所述虚拟直线上的对应于第二最短距离的位置的基准点到各测量点的距离，求出作为从圆形平台中心到各测量点的最短距离的第一最短距离，所述图像显示部以坐标图显示对应于所述距离运算部求出的第一最短距离的各测量值。

按照上述各结构，由于设置有运算显示部，所述运算显示部能够将在圆形平台上方且不经过中心的虚拟直线上的、由距离传感器测量至所述被测量面的距离得到的测量值，与作为从中心到各测量点的最短距离的第一最短距离即经过中心的直径方向上的距离对应显示，所以当圆形平台的被测量面为圆锥面时、而且在不经过中心的虚拟直线上测量时，也能够准确测量经过圆形平台中心的直径方向上的断面形状。对于例如像硅片研磨用的圆形平台那样要求高精度平面等情况下的测量作业极其有效。

附图说明

图1是本实用新型实施例的断面形状测量装置的立体图。

图2是表示所述断面形状测量装置的运算显示装置的简要结构的框图。

图3是用于说明由所述断面形状测量装置测量圆形平台的断面形状的测量方法的平面图。

图4是描绘不经过圆形平台中心的测量线上的测量点处的测量值的坐标图。

图5是将不经过圆形平台中心的测量线上的测量点处的测量值与距中心的最短距离对应描绘的坐标图。

图6是圆形平台的平面图。

图7是圆形平台的立体图。

图8是表示圆形平台表面为圆锥面时在不经过中心的测量线上的断面形状的图。

图9是表示圆形平台表面为圆锥面时在通过中心的测量线上的断面形状的图。

附图标记说明

d_i  测量值

K_i  测量点

L   虚拟直线

M   圆形平台

O   中心

r   第二最短距离

R_i  第一最短距离

1   断面形状测量装置

2   导向架

3   导轨

4   移动件

5   距离传感器

6   移动装置

7   控制装置

8   运算显示装置

21  距离运算部

22  图像显示部

具体实施方式

以下，基于图1～图5对本实用新型实施例的圆形平台的断面形状测量装置进行说明。