[实用新型]用于长晶炉的防电弧的加热电极组合

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种长晶炉，特别是涉及一种用于长晶炉的防电弧的加热电极组合。

背景技术

参阅图1，中国台湾第I346152证书号发明专利案公开一种长晶炉1，其包含：一上炉壁11、一封闭该上炉壁11的一底部的炉底盖12、一设置于该上炉壁11与该炉底盖12内的隔热单元13、一设置于该隔热单元13内的支撑桌板14、多个电极单元15，及多个电阻式石墨(graphite)加热器16。各电极单元15具有一固定于该上炉壁11的金属电极柱151，及一自其金属电极柱151向下延伸并贯穿该隔热单元13的石墨电极柱152。各电极单元15的石墨电极柱152的一底部是对应连接各电阻式石墨加热器16。

该长晶炉1于实施多晶硅长晶时，是将硅原料(图未示)放置于该支撑桌板14上的一坩埚17内，并通过该长晶炉1外部的多个电缆线18(图1只显示一个电缆线)以提供高电流低电压的电源给各金属电极柱151，以使高电流自各金属电极柱151依序传递至各石墨电极柱152及各电阻式石墨加热器16，从而使各电阻式石墨加热器16产生高电阻并形成高温；其中，所形成的高温是通过该隔热单元13以构成一热场(thermal field)，并使该坩埚17内的硅原料因高温热场而熔解成一硅熔汤19。

然而，此处需另外说明的是，由于该隔热单元13一般是由导电性的石墨或碳纤(carbon fiber)等材质所构成，而该长晶炉1于各电极单元15的石墨电极柱152与该隔热单元13间并未被施予电气隔绝；因此，各石墨电极柱152与该隔热单元13间在高电流状态下所形成的高温电弧(arc)，便容易使得接触到此高温电弧处的隔热单元13烧毁。经前述说明可知，该长晶炉1于长时间使用下，因高温电弧所衍生的隔热单元13烧毁问题，势必造成长晶热场的变异，并从而影响长晶质量。

另外，参阅图2，中国第CN202107794U授权公告号实用新型专利案公开一种多晶长晶炉2，其包含：一炉体21、一设置于该炉体21内的保温隔热笼22、一设置于该保温隔热笼22顶部的保温隔热顶板23、数个贯穿该保温隔热顶板23的电极单元24，及一与各电极单元24连接的加热器25，且各电极单元24是连接于该加热器25。然而，该多晶长晶炉2的各电极单元24与该保温隔热顶板23间也未显示有电气隔绝的设计；因此，该多晶长晶炉2雷同于前述长晶炉1，也存在有因高温电弧所衍生的保温隔热顶板23烧毁问题，其也势必造成长晶热场的变异，并从而影响长晶质量。

经上述说明可知，改进长晶炉的加热电极组合的结构设计，以降低因电弧所衍生的隔热板烧毁问题并提升长晶质量，是此技术领域相关技术人员可再改善的课题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于长晶炉的防电弧的加热电极组合。

本实用新型用于长晶炉的防电弧的加热电极组合，是安装于一个长晶炉的一个炉壁及一个位于该炉壁内的加热器间。该防电弧的加热电极组合包含：一个隔热板单元、多个电极单元及多个绝缘单元。

该隔热板单元介于该炉壁与该加热器之间，并具有一面对该炉壁的第一表面、一面对该加热器的第二表面，及多个贯穿该第一表面与该第二表面的贯孔。

每一电极单元具有一个电引入部、一个穿套部及一个凸缘。所述电极单元的电引入部分别固定于该炉壁，各电极单元的穿套部分别对应轴设在该隔热板单元的各贯孔，各电极单元的凸缘连接于其穿套部并固定于该加热器。

各绝缘单元具有一个绝缘套管及一个绝缘垫。各绝缘套管分别对应轴设于各贯孔且围绕其所对应的电极单元的穿套部，各绝缘套管分别将各贯孔作全周连续式阻隔。各绝缘垫夹置于其所对应的电极单元的凸缘与该隔热板单元的第二表面间。

本实用新型所述用于长晶炉的防电弧的加热电极组合，各绝缘套管分别具有一个挡缘，各绝缘套管的挡缘是抵靠于该隔热板单元的第一表面。

本实用新型所述用于长晶炉的防电弧的加热电极组合，各绝缘单元还具有一对半圆筒形绝缘衬片，各对半圆筒形绝缘衬片是彼此对合地轴设于其所对应的贯孔中，并夹置于其所对应的绝缘套管与电极单元的穿套部间。

本实用新型所述用于长晶炉的防电弧的加热电极组合，各绝缘垫具有一对C字型绝缘片，且各对C字型绝缘片是彼此对合地夹置于其所对的电极单元的凸缘与该隔热板单元的第二表面间。

本实用新型所述用于长晶炉的防电弧的加热电极组合，各电极单元由一个石墨电极柱及一个金属电极柱连接而成，各石墨电极柱具有其所对应的该电极单元的穿套部及凸缘，各金属电极柱是自其所对应的穿套部朝该炉壁延伸，并具有其所对应的该电极单元的电引入部。