[实用新型]一种新型蓝宝石长晶设备观察窗机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石长晶设备的加工制造，尤其是一种蓝宝石长晶设备观察窗机构。

背景技术

随着LED产业在国内的发展，蓝宝石晶体生长炉在国内也随之普及，在晶体生长炉的使用过程中，观察窗对于操作者来说，极其重要，是在长晶初期，引晶操作过程中操作者观察炉内晶体生长情况的唯一装置，观察窗如果被污染，操作者将不能对晶体生长进行人为干预，会严重影响晶体的生长。国内现在的蓝宝石晶体生长炉观察窗，多采用在上炉盖下方，炉内隔热屏上部安装一遮挡片，通过炉盖上方的旋动机构遮挡和暴露观察窗。这种装置结构复杂，并且在炉内要承受高温，不利于遮挡片旋动机构的密封保护，从遮挡片传导上来的热量将会严重影响旋动机构密封圈的寿命，甚至在晶体生长炉运行过程中，出现真空泄露的情况。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种新型蓝宝石长晶设备观察窗机构，进一步保障晶体生长炉的安全使用。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：一种新型蓝宝石长晶设备观察窗机构，包括水冷套，镜片密封圈，镜片，法兰，法兰夹持机构，球形挡片，球形挡片旋动机构和旋动机构密封圈，其特征在于，所述水冷套夹层通水冷却，其上有进水管和出水管，所述镜片密封圈置于水冷套上沿，位于镜片下面，所述法兰置于镜片上面，通过法兰夹持机构将镜片，镜片密封圈和法兰固定于水冷套上，所述球形挡片置于水冷套中心位置，处于上炉盖的水平面之上，与水冷套之间的间隙为0.2mm至1mm，未处于高温区，所述球形挡片旋动机构通过旋动机构密封圈密封于水冷套上，有两个位置可以固定，控制球形挡片遮挡和暴露镜片。

上述一种新型蓝宝石长晶设备观察窗机构，其特征在于，所述水冷套由双层不锈钢，钨和钼这三种材料中的一种制成，所述球形挡片由不锈钢，钨和钼这三种材料中的一种制成。

上述一种新型蓝宝石长晶设备观察窗机构，其特征在于，所述观察窗机构中球形挡片处于晶体生长炉高温区以外。

本实用新型的有点在于：结构简单，操作维护方便，造价低廉，使用安全，并且机构中的密封件寿命更长，更加稳定，能进一步保障晶体生长炉的安全使用。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是蓝宝石晶体晶体生长炉示意图。

图2是观察窗整体示意图。

具体实施方式

图1和图2所示，蓝宝石晶体生长炉包括观察窗1，上炉盖2，炉体3和籽晶室4，观察窗1位于炉体3的上炉盖2上，位于籽晶室4的旁边。观察窗1整套机构包括水冷套7，镜片密封圈5，镜片13，法兰14，法兰夹持机构15，球形挡片10，球形挡片旋动机构9和旋动机构密封圈8。水冷套7侧壁有进水管6和出水管11，在其上部有镜片13。镜片密封圈5置于水冷套7上沿，位于镜片13下面。法兰14置于镜片13上面，通过法兰夹持机构15将镜片13，镜片密封圈5和法兰14固定于水冷套7上。球形挡片10置于水冷套7中心位置，处于上炉盖2的水平面之上，与水冷套7之间的间隙为0.2mm至1mm，未处于高温区。挡片旋动机构9通过旋动机构密封圈8密封于水冷套7上，挡片旋动机构9只有两个位置可以旋动，控制球形挡片10遮挡和暴露镜片13。水冷套7和球形挡片10所用的材料都为钨。