[实用新型]多晶硅铸锭炉固液界面检测装置

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉固液界面检测装置，其特征在于，包括：

涡流传感器（7），用于测量坩埚（5）内部的固液界面，得到关于固液界面高度的电信号；

信号处理机（9），与所述涡流传感器（7）电连接，用于通过所述电信号得出固液界面的高度值。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉固液界面检测装置，其特征在于，所述涡流传感器（7）设置在多晶硅铸锭炉（1）内的坩埚（5）的底部。

3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉固液界面检测装置，其特征在于，所述涡流传感器（7）包括外壳、外壳内的骨架和缠绕在所述骨架上的线圈；所述线圈包括同心同轴布置的发射线圈（7a2）和补偿线圈（7a3）以及与所述发射线圈（7a2）和所述补偿线圈（7a3）轴向有间隔且同轴布置的接收线圈（7a1）；其中，所述发射线圈（7a2）、所述补偿线圈（7a3）和所述接收线圈（7a1）的导线设置在所述骨架的线槽中。

4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉固液界面检测装置，其特征在于，所述骨架包括同心同轴且由内向外依次布置的内层骨架（7b3）、中层骨架（7b2）和外层骨架（7b1），所述发射线圈（7a2）的导线绕制在所述外层骨架（7b1）的线槽中，所述补偿线圈（7a3）的导线绕制在所述中层骨架（7b2）或所述内层骨架（7b3）的线槽中，以及所述接收线圈（7a1）的导线绕制在所述内层骨架（7b3）、所述中层骨架（7b2）和所述外层骨架（7b1）的线槽中。

5.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉固液界面检测装置，其特征在于，所述骨架包括同心同轴且由内向外依次布置的内层骨架（7b3）、中层骨架（7b2）和外层骨架（7b1），所述发射线圈（7a2）的导线绕制在所述外层骨架（7b1）和所述中层骨架（7b2）的线槽中，所述补偿线圈（7a3）的导线绕制在所述内层骨架（7b3）的线槽中，以及所述接收线圈（7a1）的导线绕制在所述内层骨架（7b3）、所述中层骨架（7b2）和所述外层骨架（7b1）的线槽中。

6.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉固液界面检测装置，其特征在于，所述发射线圈（7a2）和所述补偿线圈（7a3）的导线的绕制方向相反。

7.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉固液界面检测装置，其特征在于，所述线槽的截面形状为弧形或U形。

8.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉固液界面检测装置，其特征在于，所述涡流传感器（7）从下往上依次穿过所述坩埚（5）的定向凝固块（6）和所述坩埚（5）的石墨防护板（4）。

9.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉固液界面检测装置，其特征在于，还包括位于所述多晶硅铸锭炉（1）外的电气室，所述信号处理机（9）设置在所述电气室内，所述涡流传感器（7）与所述信号处理机（9）通过信号电缆（8）连接。